磁记录用Co/Pd多层膜及比特图纹介质的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·磁记录的发展历史 | 第9-12页 |
| ·垂直磁记录的优势 | 第12-14页 |
| ·垂直磁记录介质候选材料 | 第14-18页 |
| ·比特图纹介质 | 第18-22页 |
| ·其他磁记录技术简介 | 第22-23页 |
| ·交换耦合复合介质(ECC) | 第22页 |
| ·热辅助磁记录(HAMR) | 第22-23页 |
| ·微波辅助磁记录(MAMR) | 第23页 |
| ·捕获电子辅助磁记录 | 第23页 |
| ·本论文的主要工作内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-38页 |
| ·磁控溅射系统 | 第25-27页 |
| ·振动样品磁强计 | 第27-30页 |
| ·磁光克尔效应系统 | 第30-31页 |
| ·X射线衍射仪 | 第31-33页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第33-35页 |
| ·石英晶体振荡器 | 第35-36页 |
| ·电子束曝光与离子束刻蚀 | 第36-38页 |
| 第三章 Co/Pd多层膜 | 第38-54页 |
| ·Co/Pd多层膜的制备 | 第39页 |
| ·Co层厚度的影响 | 第39-44页 |
| ·Pd层厚度的影响 | 第44-45页 |
| ·Pd种子层的影响 | 第45-49页 |
| ·Ta/Pd双种子层的影响 | 第49-54页 |
| 第四章 Co/Pd多层膜比特图纹介质的制备与磁性 | 第54-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 在学期间研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
