应变下（非）晶硅热力学性质及其晶化的分子动力学模拟

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-13页
·硅基薄膜的研究概况与发展	第8-10页
·单晶硅与非晶硅的结构特性	第10-11页
·非晶硅晶化的研究近况	第11页
·本文研究内容	第11-13页
第2章 分子动力学模拟方法简介	第13-23页
·分子动力学	第13-14页
·分子动力学原理	第14页
·牛顿运动方程	第14-15页
·原子间的作用势	第15-18页
·物理量的计算	第18-19页
·分子动力学模拟的系综	第19-20页
·系综的控制方法	第20-21页
·本章小结	第21-23页
第3章 拉伸和压缩下的硅体能量变化模拟	第23-40页
·单晶硅的拉伸与压缩的能量曲线变化	第23-30页
·不做任何变形的单晶硅升温中的能量变化模拟	第23-24页
·单晶硅拉伸后的升温中的能量变化模拟	第24-27页
·单晶硅压缩后的升温中的能量变化模拟	第27-30页
·非晶硅的拉伸与压缩的能量曲线变化	第30-39页
·分子动力学法淬火法制备非晶硅	第30-34页
·不做任何变形的非晶硅升温中的能量变化模拟	第34-36页
·非晶硅拉伸后升温中的能量变化模拟	第36-38页
·非晶硅压缩后升温中的能量变化模拟	第38-39页
·本章小结	第39-40页
第4章 不同方向上变形的非晶硅晶化研究	第40-52页
·建立一个非晶硅和单晶硅有机结合的晶胞模型	第40-42页
·非晶硅晶化的分子动力学模拟	第42-50页
·初始结构的晶化模拟实验	第42-43页
·横向方向上拉伸和压缩的晶化模拟	第43-47页
·纵向方向上拉伸和压缩的晶化模拟	第47-50页
·本章小结	第50-52页
结论	第52-53页
参考文献	第53-57页
致谢	第57页