电子轰击高温蒸发源的研发
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题研究背景 | 第11页 |
| ·分子束外延技术 | 第11-12页 |
| ·分子束外延技术概述 | 第11页 |
| ·分子束外延技术的应用 | 第11-12页 |
| ·分子束外延蒸发源的研究现状 | 第12-13页 |
| ·国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13页 |
| ·主要存在问题及发展趋势 | 第13页 |
| ·课题研究意义及主要内容 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第13-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14页 |
| 本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 电子轰击高温蒸发源总体方案研究 | 第15-24页 |
| ·电子轰击高温蒸发源工作原理 | 第15-16页 |
| ·电子轰击高温蒸发源性能指标需求分析 | 第16页 |
| ·电子轰击高温蒸发源总体设计方案 | 第16-18页 |
| ·电子轰击高温蒸发源选材分析 | 第18-20页 |
| ·材料选择要求 | 第18页 |
| ·不同零部件的材料选择分析 | 第18-20页 |
| ·电子轰击高温蒸发源关键参数分析与确定 | 第20-23页 |
| ·加热丝长度的确定 | 第20-21页 |
| ·坩埚相对于钨丝位置的确定 | 第21-22页 |
| ·稳定陶瓷位置的确定 | 第22-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 电子轰击高温蒸发源关键部件结构设计 | 第24-52页 |
| ·遮挡板机构 | 第24-31页 |
| ·旋转导入器 | 第24-30页 |
| ·绕线式钢丝轴 | 第30页 |
| ·挡板 | 第30-31页 |
| ·旋转直线驱动机构 | 第31-38页 |
| ·旋转直线驱动器 | 第31-36页 |
| ·高压部分 | 第36-38页 |
| ·水冷机构 | 第38-42页 |
| ·冷却罩 | 第39-40页 |
| ·冷却水管 | 第40-42页 |
| ·水冷机 | 第42页 |
| ·束流监测机构 | 第42-45页 |
| ·束流监测装置 | 第42-44页 |
| ·引导管口设计 | 第44-45页 |
| ·加热机构 | 第45-46页 |
| ·电极接线方式分析 | 第45页 |
| ·集成六针电极 | 第45-46页 |
| ·连接腔体 | 第46-48页 |
| ·连接腔体用途分析 | 第46页 |
| ·连接腔体设计 | 第46-48页 |
| ·电子轰击高温蒸发源的装配及组成 | 第48-51页 |
| ·装配检查和检测 | 第48-49页 |
| ·整体结构组成 | 第49-51页 |
| 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 电子轰击高温蒸发源性能测试 | 第52-63页 |
| ·性能测试分析 | 第52-53页 |
| ·性能测试原理 | 第52页 |
| ·性能测试指标 | 第52-53页 |
| ·测试平台的搭建 | 第53-56页 |
| ·测试实验 | 第56-58页 |
| ·测试条件 | 第56-57页 |
| ·实验过程 | 第57-58页 |
| ·测试结果分析 | 第58-62页 |
| ·功率和温度的关系 | 第58-59页 |
| ·束流稳定性 | 第59-60页 |
| ·束斑分布 | 第60-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 附录 ICF 法兰盘 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
