旋涂法制备n~+发射极和非晶硅薄膜等离激元增强光吸收的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-13页 |
| ·太阳能电池的背景介绍 | 第9-11页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第11-13页 |
| ·磷掺杂的研究进展 | 第13-15页 |
| ·纳米银的研究进展 | 第15-17页 |
| ·研究目标 | 第17页 |
| ·研究内容 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 磷掺杂与纳米银的制备技术及测量方法 | 第21-36页 |
| ·杂质掺杂基本原理 | 第21-23页 |
| ·SOD 源的制备介绍 | 第23-24页 |
| ·表面等离子激元共振的基本知识 | 第24-29页 |
| ·偶极等离子激元共振 | 第24-27页 |
| ·改良长波近似 | 第27-29页 |
| ·磁控溅射镀膜的技术 | 第29-30页 |
| ·性能分析方法 | 第30-35页 |
| ·磷掺杂的电学性能的测量 | 第30-32页 |
| ·薄膜的光学性能的测量 | 第32-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章 磷扩散制备及研究 | 第36-47页 |
| ·固定磷源的扩散工艺与分析 | 第36-37页 |
| ·固定磷源的扩散 | 第36-37页 |
| ·测试与分析 | 第37页 |
| ·磷掺杂的分析和测试方法 | 第37-41页 |
| ·不同磷源浓度时的电学性能 | 第37-39页 |
| ·不同扩散温度的电学性能 | 第39-40页 |
| ·不同扩散时间下的电学特性 | 第40-41页 |
| ·SOD 薄膜的光学性能分析 | 第41-45页 |
| ·不同磷源的光学性能 | 第42-43页 |
| ·不同扩散温度条件下薄膜的光学性能 | 第43-45页 |
| 本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第四章 纳米银薄膜的制备及研究 | 第47-59页 |
| ·纳米银制备 | 第47-48页 |
| ·磁控溅射制备纳米银 | 第47-48页 |
| ·纳米银薄膜的测试方法 | 第48页 |
| ·不同制备条件下纳米银薄膜性能 | 第48-55页 |
| ·不同银薄膜厚度纳米银薄膜的性能分析 | 第48-52页 |
| ·不同退火时间下纳米银的性能分析 | 第52-55页 |
| ·非晶硅-纳米银结构的光学性能 | 第55-57页 |
| ·a-Si/Ag/a-Si 薄膜的制备 | 第55页 |
| ·a-Si/Ag/a-Si 结构的光学性能 | 第55-57页 |
| 本章小结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 硕士期间主要研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
