场发射枪透射电子显微镜主体镜筒的设计分析
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-21页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·透射电子显微镜的发展现状 | 第11-15页 |
| ·透射电子显微镜研究的新方向 | 第15-19页 |
| ·论文的主要研究工作 | 第19-21页 |
| 2 透射电子显微镜系统结构与原理 | 第21-39页 |
| ·透射电子显微镜系统结构 | 第21-35页 |
| ·照明系统 | 第23-26页 |
| ·成像系统 | 第26-28页 |
| ·观察和记录系统 | 第28-30页 |
| ·调校系统 | 第30-32页 |
| ·真空系统 | 第32-33页 |
| ·电路系统 | 第33-34页 |
| ·冷却系统 | 第34页 |
| ·气体供应系统 | 第34页 |
| ·保护和安全防护系统 | 第34-35页 |
| ·透射电子显微镜成象原理 | 第35-39页 |
| ·质厚衬度原理 | 第35-36页 |
| ·衍射衬度形成机理 | 第36-37页 |
| ·衍衬象运动理论的基本假设 | 第37-39页 |
| 3 有限元法的理论基础 | 第39-59页 |
| ·有限元法介绍 | 第39-40页 |
| ·基本原理 | 第40-41页 |
| ·位移模式及形函数 | 第41-47页 |
| ·数值方法的收敛性 | 第47-48页 |
| ·有限元法的弹性力学基础 | 第48-55页 |
| ·水平杆单元刚度矩阵 | 第48-50页 |
| ·倾斜杆单元刚度矩阵 | 第50-52页 |
| ·节点平衡方程与整体刚度矩阵 | 第52-53页 |
| ·总体刚度矩阵的合成 | 第53页 |
| ·边界条件的处理 | 第53-55页 |
| ·有限元法的传热学基础 | 第55-59页 |
| ·三维热传导的变分问题 | 第55-56页 |
| ·八节点六面体等参数单元 | 第56-59页 |
| 4 主体镜筒的有限元分析 | 第59-77页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第59-60页 |
| ·观察室和隔离阀的有限元分析 | 第60-69页 |
| ·应力应变分析的基本假设 | 第60-61页 |
| ·ANSYS材料非线性分析原理 | 第61-62页 |
| ·观察室的应力应变分析 | 第62-65页 |
| ·观察室和隔离阀一体化后的应力应变分析 | 第65-69页 |
| ·主体镜筒的有限元分析 | 第69-77页 |
| ·聚光镜外壳的热分析 | 第70-73页 |
| ·物镜外壳的热分析 | 第73-76页 |
| ·中间镜和投影镜外壳的热分析 | 第76-77页 |
| 5 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 作者简历 | 第80-82页 |
| 学位论文数据集 | 第82页 |
