| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-32页 |
| ·基于MEMS 的显示技术 | 第10-12页 |
| ·开展本研究的重要意义 | 第12-13页 |
| ·基于MEMS 的光调制器的发展 | 第13-28页 |
| ·存在的问题和研究内容 | 第28-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 2 基于MEMS 光栅光调制器显示系统 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·面向显示基于MEMS 光栅光调制器系统 | 第32-33页 |
| ·控制系统 | 第33-36页 |
| ·光学系统 | 第36-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 3 反射镜平动式光栅光调制器 | 第42-64页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·反射镜平动式光栅光调制器结构 | 第42-44页 |
| ·基于矩形相位光栅的光学原理分析 | 第44-46页 |
| ·实际光学模型 | 第46-55页 |
| ·光学仿真 | 第55-56页 |
| ·参数影响分析 | 第56-61页 |
| ·小结 | 第61-64页 |
| 4 光栅平动式光调制器 | 第64-106页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·光栅平动式光调制器结构 | 第64-66页 |
| ·GMLM 光学原理分析 | 第66-78页 |
| ·可动光栅有效面积分析 | 第78-82页 |
| ·初始状态分析 | 第82-86页 |
| ·GMLM 面阵光学分析 | 第86-102页 |
| ·加工误差对光学性能影响分析 | 第102-103页 |
| ·小结 | 第103-106页 |
| 5 GMLM 信号处理 | 第106-126页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·单象素信号处理 | 第106-120页 |
| ·多象素信号处理 | 第120-124页 |
| ·小结 | 第124-126页 |
| 6 工艺和实验 | 第126-158页 |
| ·引言 | 第126页 |
| ·加工工艺 | 第126-132页 |
| ·非接触的波长扫描式光谱分析方法 | 第132-145页 |
| ·非接触的波长扫描式光谱分析方法的推广 | 第145-150页 |
| ·衍射实验 | 第150-153页 |
| ·信号处理实验 | 第153-157页 |
| ·小结 | 第157-158页 |
| 7 光栅平动式光调制器优化设计 | 第158-172页 |
| ·引言 | 第158页 |
| ·方案比较 | 第158-166页 |
| ·工艺设计 | 第166-170页 |
| ·小结 | 第170-172页 |
| 8 全文总结及研究工作展望 | 第172-176页 |
| 致谢 | 第176-178页 |
| 参考文献 | 第178-186页 |
| 附录:作者在攻读博士学位期间发表的论文和参加的科研工作 | 第186-188页 |