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EACVD法低温合成金刚石薄膜气相动力学过程研究

第1章 引言第1-11页
第2章 Monte Carlo方法简介第11-14页
   ·蒙特卡罗方法概述第11页
   ·蒙特卡罗方法解题的一般手续第11-12页
     ·构造或描述概率过程第11页
     ·实现从已知分布抽样第11-12页
     ·建立各种估计量第12页
   ·蒙特卡罗方法的特点第12-14页
第3章 理论模型第14-23页
   ·基本假设第14页
   ·电子运动轨迹的描述第14-15页
   ·伪碰撞技巧第15-18页
   ·电子雪崩过程的模拟第18-19页
   ·电场的计算第19-23页
第4章 模拟过程第23-28页
   ·流程图第23-24页
   ·模拟过程概述第24-28页
第5章 结果与分析第28-52页
   ·电场分布第28-35页
   ·电子能量分布及角分布第35-45页
     ·电子的能量分布第35-40页
     ·电子的角分布第40-45页
   ·各种粒子分布第45-52页
第6章 结束语第52-53页
参考文献第53-57页
致谢第57页

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