二维编码式零位光栅结构的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-10页 |
| 插图清单 | 第10-12页 |
| 表格清单 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| ·光栅测量技术的发展概况 | 第13页 |
| ·一维零位光栅的发展概况 | 第13-14页 |
| ·二维零位光栅的发展概况 | 第14-16页 |
| ·本课题研究的目的和内容 | 第16-17页 |
| 第二章 二维编码式零位光栅系统的结构设计 | 第17-37页 |
| ·零位脉冲的形成 | 第17-18页 |
| ·编码式零位光栅的性能参数 | 第18-19页 |
| ·零位光栅的编码 | 第18-19页 |
| ·对比度C | 第19页 |
| ·零位光栅编码的优化设计 | 第19-26页 |
| ·编码的优化设计方案 | 第19-24页 |
| ·编码的优化设计结果 | 第24-26页 |
| ·二维编码式零位光栅副的刻线设计 | 第26-32页 |
| ·二维编码式零位光栅的光强分析 | 第26-29页 |
| ·零位光栅栅距的确定 | 第29页 |
| ·二维零位光栅副刻线的结构 | 第29-32页 |
| ·二维编码式零位光栅系统设计 | 第32-37页 |
| ·光路总体设计 | 第32页 |
| ·光电元件的选择 | 第32-34页 |
| ·结构设计 | 第34-37页 |
| 第三章 二维编码式零位光栅的实验装置设计 | 第37-51页 |
| ·机械装置模块 | 第37-40页 |
| ·机械装置设计 | 第37-38页 |
| ·位移传感器的选择 | 第38-40页 |
| ·信号处理模块 | 第40-46页 |
| ·电路总体设计 | 第40-41页 |
| ·电流电压转换电路 | 第41-42页 |
| ·电压放大模块 | 第42-43页 |
| ·去噪滤波电路设计 | 第43-44页 |
| ·电路板的制作 | 第44-46页 |
| ·信号采集模块 | 第46-47页 |
| ·位移驱动模块 | 第47-51页 |
| ·驱动器选型研究 | 第47-48页 |
| ·驱动器的控制模块 | 第48-49页 |
| ·程序控制界面 | 第49-51页 |
| 第四章 编码式零位光栅系统的性能测试实验 | 第51-60页 |
| ·编码式零位光栅系统的平行调整 | 第51-54页 |
| ·编码式零位光栅的性能测试 | 第54-58页 |
| ·系统的误差分析 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·工作总结 | 第60页 |
| ·工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 在读期间发表的论文 | 第65页 |
