| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·材料去处式加工技术应用及研究现状 | 第12-14页 |
| ·半导体加工技术 | 第12-13页 |
| ·同步辐射LIGA工艺 | 第13页 |
| ·超精密加工工艺和放电加工技术 | 第13页 |
| ·准分子激光微加工技术 | 第13-14页 |
| ·材料添加式加工技术应用及研究现状 | 第14-20页 |
| ·选择性激光烧结技术 | 第14-16页 |
| ·立体光刻 | 第16页 |
| ·选区激光熔化技术 | 第16-19页 |
| ·激光近形制造技术 | 第19-20页 |
| ·激光微加工系统亟待解决的问题 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究内容和目标 | 第21-23页 |
| 第2章 准分子激光直写微加工系统控制软件设计 | 第23-35页 |
| ·准分子激光光刻直写微加工系统组成 | 第23-25页 |
| ·准分子激光微加工的特点 | 第23-24页 |
| ·准分子激光微加工的两种方式 | 第24-25页 |
| ·准分子激光光刻直写微加工系统的组成 | 第25页 |
| ·准分子激光直写微加工控制系统 | 第25-28页 |
| ·运动控制部分 | 第26-27页 |
| ·激光控制部分 | 第27-28页 |
| ·准分子激光微加工系统控制软件设计 | 第28-30页 |
| ·运动控制模块 | 第28-29页 |
| ·激光控制模块 | 第29页 |
| ·用户指令系统模块 | 第29页 |
| ·图形接口 | 第29-30页 |
| ·准分子激光微加工系统控制软件的实现 | 第30-33页 |
| ·运动控制模块的实现 | 第30-32页 |
| ·准分子激光控制模块的实现 | 第32页 |
| ·用户指令系统模块的实现 | 第32页 |
| ·图形接口的实现 | 第32-33页 |
| 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 准分子激光直写微加工系统CAM接口软件设计 | 第35-47页 |
| ·激光直写微加工系统CAD/CAM接口的设计方式 | 第35-36页 |
| ·AUTOCAD平台常用的二次开发方法 | 第36-37页 |
| ·准分子激光直写微加工系统CAM接口的具体实现 | 第37-46页 |
| ·被加工图形实体信息的获取 | 第38-40页 |
| ·向被加工实体扩展加工信息和从被加工实体读取加工信息 | 第40-43页 |
| ·被加工对象选择集合的生成 | 第43-44页 |
| ·CAM接口程序实现流程 | 第44-46页 |
| 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 激光金属粉末微成型系统铺粉装置的机械结构 | 第47-57页 |
| ·铺粉装置 | 第47-52页 |
| ·激光金属粉末微成型系统铺粉装置概述 | 第47-50页 |
| ·激光熔化金属粉末微成型系统铺粉装置的机械组成 | 第50-52页 |
| ·铺粉辊子的几种运动方式 | 第52-55页 |
| ·铺粉的运动过程 | 第52-54页 |
| ·顺时针滚动和逆时针滚动的比较 | 第54-55页 |
| ·机械设计的不足之处及有可能造成的铺粉误差 | 第55-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 铺粉装置的控制系统 | 第57-77页 |
| ·铺粉装置整体控制系统 | 第57-62页 |
| ·控制系统的硬件组成 | 第57-59页 |
| ·控制器及其端口的分配 | 第59-62页 |
| ·控制软件的设计 | 第62-73页 |
| ·控制系统的初始化 | 第62-64页 |
| ·基本运动控制的实现 | 第64-66页 |
| ·限位保护功能的实现 | 第66-69页 |
| ·完整铺粉动作的实现 | 第69-73页 |
| ·铺粉实验 | 第73-75页 |
| 本章小结 | 第75-77页 |
| 第6章 准分子激光微加工系统CAM接口软件实验验证 | 第77-83页 |
| ·准分子激光微加工系统CAM接口软件界面 | 第77-79页 |
| ·实验验证 | 第79-81页 |
| 本章小结 | 第81-83页 |
| 第7章 光纤激光熔化金属粉末成型实验 | 第83-97页 |
| ·光纤激光熔化金属粉末快速成型实验装置 | 第83-86页 |
| ·光纤激光熔化金属粉末快速成型系统的基本组成 | 第83-84页 |
| ·气体保护装置的设计 | 第84-86页 |
| ·单层扫描成型实验 | 第86-88页 |
| ·多层铺粉成型实验 | 第88-92页 |
| ·加工基底的选择 | 第88页 |
| ·铺粉厚度与激光功率对层叠加工质量的影响 | 第88-91页 |
| ·有效铺粉厚度范围控制的讨论 | 第91-92页 |
| ·铺粉厚度控制对成型精度和效率的影响 | 第92页 |
| ·铺粉控制软件的优化 | 第92-93页 |
| ·多层层叠成型实验加工样品 | 第93-95页 |
| 本章小结 | 第95-97页 |
| 结 论 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-103页 |
| 攻读硕士学位期间获得的科技成果 | 第103-105页 |
| 致 谢 | 第105页 |
