| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·椭圆偏振测量术的发展 | 第9-10页 |
| ·椭偏测量术的应用 | 第10页 |
| ·论文研究的主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 椭圆偏振测量的基本原理 | 第12-19页 |
| ·光的偏振 | 第12-13页 |
| ·椭偏测量理论 | 第13-15页 |
| ·光度法中椭偏参数的测量 | 第15-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 光学薄膜系统的椭偏测量分析 | 第19-33页 |
| ·薄膜系统模型选择的必要性和重要性 | 第19页 |
| ·薄膜系统有效模型的选取方法 | 第19-20页 |
| ·椭偏光谱分析中的光学模型 | 第20-24页 |
| ·结构模型分析 | 第20-21页 |
| ·色散模型分析 | 第21-23页 |
| ·模型中各个参数间的相关性问题 | 第23-24页 |
| ·椭偏光谱测量中椭偏参数的灵敏度分析 | 第24-32页 |
| ·椭偏参数随薄膜厚度变化的灵敏度分析 | 第24-27页 |
| ·椭偏参数随光学常数变化的灵敏度分析 | 第27-30页 |
| ·椭偏参数随入射角变化的灵敏度分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 椭偏数据处理 | 第33-49页 |
| ·最优化算法介绍 | 第33-36页 |
| ·模拟退火算法 | 第33-34页 |
| ·人工神经网络算法 | 第34页 |
| ·遗传算法 | 第34页 |
| ·使用导数的最优化方法 | 第34-36页 |
| ·VASE~(?)型椭偏仪的数据处理方法 | 第36-38页 |
| ·遗传算法基本原理及其在椭偏数据处理中的应用 | 第38-41页 |
| ·遗传算法基本原理及特点 | 第38-40页 |
| ·遗传算法在椭偏数据处理中的应用 | 第40-41页 |
| ·椭偏数据处理程序设计 | 第41-43页 |
| ·数据处理结果的评价 | 第43-44页 |
| ·椭偏数据处理软件简介 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 某些薄膜材料的光学常数计算 | 第49-59页 |
| ·在SiO2基底上的某薄膜材料的测量分析 | 第49-52页 |
| ·测量椭偏数据的处理 | 第49-51页 |
| ·程序拟合结果与透反射率测量仪测量结果的比较 | 第51-52页 |
| ·在ggg基底上的SiO2薄膜的测量分析 | 第52-55页 |
| ·测量椭偏数据的处理 | 第52-54页 |
| ·程序拟合结果与透反射率测量仪测量结果比较 | 第54-55页 |
| ·引入弱吸收情况的薄膜测量分析 | 第55-58页 |
| ·引入弱吸收时对SiO2基底上的某薄膜材料的测量分析 | 第55-56页 |
| ·引入弱吸收时对ggg基底上的SiO2薄膜的测量分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-67页 |