| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·超硬膜概述 | 第10-16页 |
| ·多弧离子镀简介 | 第16-19页 |
| ·本课题的提出 | 第19-20页 |
| 2 实验材料与研究方法 | 第20-37页 |
| ·靶材的选择 | 第20-23页 |
| ·基体材料的选择及预处理 | 第23-26页 |
| ·镀膜设备 | 第26-27页 |
| ·沉积工艺设计 | 第27-30页 |
| ·沉积工艺参数选择 | 第30-32页 |
| ·膜层力学性能测试 | 第32-37页 |
| 3 (Ti,Al,Zr)N 膜表面形貌及断口组织的观察与分析 | 第37-52页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 表面形貌观察与分析 | 第37-46页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜断口组织观察与分析 | 第46-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 4 (Ti,Al,Zr)N 膜硬度及结合力的研究及讨论 | 第52-62页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜硬度的研究及讨论 | 第52-55页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜附着力的研究及讨论 | 第55-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 5 (Ti,Al,Zr)N 膜耐磨性分析及讨论 | 第62-82页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜耐磨性测试 | 第62-80页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜耐磨性讨论 | 第80-81页 |
| ·小结 | 第81-82页 |
| 6 (Ti,Al,Zr)N 膜层最佳成分的分析及讨论 | 第82-95页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜层最佳成分的分析 | 第82-90页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜层最佳成分的讨论 | 第90-92页 |
| ·(Ti,Al,Zr)N 膜层相结构的讨论 | 第92-93页 |
| ·小结 | 第93-95页 |
| 7 结论 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 在学研究成果 | 第100-101页 |
| 致谢 | 第101页 |
