| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·周期结构材料介绍及发展现状 | 第8-10页 |
| ·周期结构材料的基本特征 | 第8-9页 |
| ·周期结构材料的发展现状 | 第9-10页 |
| ·针对周期结构材料的研究方法发展现状 | 第10-11页 |
| ·本论文的选题及研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 周期结构材料计量技术概述及光谱衍射的基本理论 | 第13-44页 |
| ·周期结构材料计量技术概述 | 第13-15页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第13-14页 |
| ·扫描隧道显微镜（STM） | 第14页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第14-15页 |
| ·光谱衍射理论 | 第15-44页 |
| ·电磁场基本理论 | 第15-17页 |
| ·周期结构场模拟相关算法的介绍 | 第17-44页 |
| 第三章 几种衍射理论的分析与比较 | 第44-53页 |
| ·标量衍射理论与矢量衍射理论的比较 | 第44-45页 |
| ·标量衍射理论与矢量衍射理论上的分析与比较 | 第44-45页 |
| ·两种矢量法WATERMAN 方法与严格耦合波的比较分析 | 第45-53页 |
| ·Waterman 方法与RCWA 理论上的分析与比较 | 第45页 |
| ·Waterman 与RCWA 在TE 模下的比较 | 第45-53页 |
| 第四章 WATERMAN 方法的具体分析与改进意见 | 第53-61页 |
| ·WATERMAN 方法的误差来源分析 | 第53-54页 |
| ·WATERMAN 方法解的稳定性讨论 | 第54页 |
| ·WATERMAN 方法的正规化 | 第54-55页 |
| ·针对减少WATERMAN 方法截断误差的改进意见 | 第55-57页 |
| ·改进的WATERMAN 方法与RCWA 的比较 | 第57-61页 |
| ·梯形光栅在不同入射波长下的比较 | 第57页 |
| ·梯形光栅在不同刻蚀深度情况下的比较 | 第57-58页 |
| ·梯形光栅在不同占空比情况下的比较 | 第58-61页 |
| 第五章 基于改良的WATERMAN 方法与RCWA 的软件架构与实现 | 第61-70页 |
| ·编程工具的基本介绍 | 第61-62页 |
| ·VC++ | 第61页 |
| ·MFC | 第61-62页 |
| ·MATLAB | 第62页 |
| ·系统的构架思路 | 第62-63页 |
| ·模拟算法演示过程 | 第63-66页 |
| ·软件的Waterman 方法模拟 | 第63-64页 |
| ·软件的RCWA 模拟 | 第64-65页 |
| ·软件的DR-Waterman 方法模拟 | 第65-66页 |
| ·改良算法模拟效果 | 第66-70页 |
| 第六章 结束语 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-75页 |
