| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·铁电薄膜材料简介 | 第8-9页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3（BST）铁电薄膜 | 第9-10页 |
| ·BST薄膜的热点应用及其研究进展 | 第10-12页 |
| ·BST薄膜的制备工艺 | 第12-15页 |
| ·磁控溅射（Magnetron sputtering deposition）法 | 第12-13页 |
| ·金属有机物化学气相沉积（MOCVD）法 | 第13页 |
| ·脉冲激光沉积（PLD）法 | 第13页 |
| ·水热合成法 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶（Sol-Gel）法 | 第13-15页 |
| ·Sol-gel制备多元钙钛矿铁电氧化物薄膜的原理 | 第15-16页 |
| ·BST薄膜成形质量评价 | 第16-17页 |
| ·XRD衍射分析 | 第16-17页 |
| ·SEM扫描电镜分析 | 第17页 |
| ·AFM原子力显微镜分析 | 第17页 |
| ·本课题选题依据与主要研究内容 | 第17-20页 |
| ·选题依据 | 第17-18页 |
| ·本研究主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 多功能高速纳米薄膜成形装置的研制 | 第20-28页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·Spin-coating工艺薄膜成形理论 | 第21-23页 |
| ·旋涂的理论模型 | 第21-22页 |
| ·旋涂工艺的几个关键步骤 | 第22-23页 |
| ·多功能纳米薄膜成形机简介 | 第23-24页 |
| ·主要技术方案 | 第24-26页 |
| ·薄膜成形系统 | 第24-25页 |
| ·真空舱及真空（可控气氛）保障系统 | 第25-26页 |
| ·热解、光解、高温相变及其控制系统 | 第26页 |
| ·多功能高速纳米薄膜成形装置的优点 | 第26-28页 |
| 第三章 螯合剂对BST湿凝胶热演变过程的影响 | 第28-43页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·实验方法 | 第28-42页 |
| ·原材料的选择 | 第28-30页 |
| ·实验设备与分析仪器 | 第30-31页 |
| ·BST干凝胶粉的制备工艺 | 第31-32页 |
| ·BST湿凝胶DSC-TG分析 | 第32-36页 |
| ·BST粉末XRD分析与表征 | 第36-40页 |
| ·HAcAc对BST热演变过程影响机理浅探 | 第40-41页 |
| ·BST粉末SEM分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 先驱溶胶浓度、pH值及Spin-coating工艺参数对BST薄膜成形性的影响 | 第43-58页 |
| ·前言 | 第43-44页 |
| ·实验方法 | 第44-47页 |
| ·实验设备与分析仪器 | 第44页 |
| ·BST薄膜制备工艺 | 第44-46页 |
| ·BST薄膜后处理工艺 | 第46-47页 |
| ·前驱液pH值的调制与测定 | 第47页 |
| ·本章实验详情 | 第47页 |
| ·结果分析 | 第47-57页 |
| ·先驱液浓度对BST薄膜物相及其表面形貌的影响 | 第47-53页 |
| ·旋涂速度对薄膜表面形貌的影响 | 第53-55页 |
| ·先驱溶胶pH值对薄膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |
