铸造多晶硅太阳电池的吸杂研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·太阳电池的原理与发展现状 | 第8-12页 |
| ·多晶硅太阳电池中的杂质及其对多晶硅的影响 | 第12-16页 |
| ·吸杂现状研究 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第18-19页 |
| 第2章 实验设备 | 第19-25页 |
| ·真空镀膜机 | 第19-20页 |
| ·CTP设备 | 第20页 |
| ·RTP设备 | 第20-21页 |
| ·暂稳态少子寿命测试仪(QSSPC) | 第21-22页 |
| ·光谱响应仪 | 第22页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第22页 |
| ·太阳电池效率测试仪 | 第22-25页 |
| 第3章 实验方案、过程、结果和讨论 | 第25-41页 |
| ·实验准备 | 第25-26页 |
| ·去损伤层和形成多孔硅绒面 | 第25-26页 |
| ·太阳电池制作工序 | 第26页 |
| ·吸杂方案和实验过程 | 第26-28页 |
| ·实验结果及分析 | 第28-40页 |
| ·磷吸杂 | 第28-33页 |
| ·铝吸杂 | 第33-37页 |
| ·磷铝共吸杂 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 影响吸杂的因素 | 第41-49页 |
| ·位错密度和微缺陷的影响 | 第41-43页 |
| ·氧炭含量对吸杂的影响 | 第43-44页 |
| ·金属杂质含量及金属沉积物半径大小的影响 | 第44-45页 |
| ·温度对吸杂效果的影响 | 第45-46页 |
| ·时间对吸杂效果的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 吸杂的原理及模拟 | 第49-57页 |
| ·磷吸杂的原理 | 第49-52页 |
| ·磷吸杂的原理 | 第49-50页 |
| ·磷吸杂对金元素的影响 | 第50-52页 |
| ·多次铝吸杂和一次同厚度铝吸杂吸杂效率模拟 | 第52-53页 |
| ·吸杂模型的建立 | 第53-56页 |
| ·建模的前提条件 | 第53页 |
| ·数学模型的建立 | 第53-55页 |
| ·Fe的铝吸杂 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 总结和展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文清单 | 第65页 |
