| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-27页 |
| §1．1 纳米科技概述 | 第8-10页 |
| §1．2 微纳米加工技术介绍 | 第10-14页 |
| §1．3 基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米加工技术 | 第14-23页 |
| §1．3．1 扫描隧道显微镜原理 | 第14-16页 |
| §1．3．2 原子力显微镜原理 | 第16-20页 |
| §1．3．3 基于SPM的纳米加工方法 | 第20-23页 |
| §1．4 本文的主要内容及研究成果 | 第23-27页 |
| 第2章 基于AFM的纳米加工技术原理及新方法研究 | 第27-43页 |
| §2．1 基于AFM的纳米加工新方法 | 第27-33页 |
| §2．1．1 AFM纳米加工基本方法 | 第27-29页 |
| §2．1．2 刻蚀加工的理论模型 | 第29-33页 |
| §2．2 加工深度与载荷的关系研究 | 第33-36页 |
| §2．3 载荷加载计算 | 第36-39页 |
| §2．4 路径控制 | 第39-43页 |
| 第3章 原子力显微镜及其纳米加工系统研制 | 第43-60页 |
| §3．1 原子力显微镜的部件及架构 | 第43-49页 |
| §3．1．1 原子力显微镜探头设计 | 第44-45页 |
| §3．1．2 载荷加载机构 | 第45-47页 |
| §3．1．3 粗调和微调进给机构 | 第47-48页 |
| §3．1．4 扫描与反馈控制电路系统 | 第48-49页 |
| §3．2 原子力显微镜的计算机控制软硬件系统研制 | 第49-60页 |
| §3．2．1 数据采集卡 | 第49-51页 |
| §3．2．2 图像扫描和处理软件 | 第51-55页 |
| §3．2．3 图像显示和处理数据处理模块 | 第55-60页 |
| 第4章 基于原子力显微镜的纳米加工系统性能测试及优化 | 第60-75页 |
| §4．1 扫描范围的影响 | 第60-61页 |
| §4．2 光电探测器噪声处理 | 第61-62页 |
| §4．3 振动和漂移对测量精度的影响研究 | 第62-63页 |
| §4．4 扫描速度对测量精度的影响研究 | 第63-64页 |
| §4．5 压电陶瓷的非线性校正 | 第64-70页 |
| §4．5．1 压电陶瓷的固有非线性 | 第64-66页 |
| §4．5．2 非线性校正 | 第66-70页 |
| §4．6 基于AFM加工的可行性实验研究 | 第70-75页 |
| 第5章 基于原子力显微镜的纳米加工实验及应用研究 | 第75-88页 |
| §5．1 扫描样品图像 | 第75-78页 |
| §5．1．1 多孔氧化铝图 | 第75-77页 |
| §5．1．2 光栅形貌图 | 第77页 |
| §5．1．3 氧化锌表面形貌测量 | 第77-78页 |
| §5．2 样品刻蚀图像 | 第78-86页 |
| §5．2．1 氧化铝表面的刻蚀加工 | 第78-79页 |
| §5．2．2 硫化锌表面的刻蚀加工 | 第79-86页 |
| §5．3 加工系统的性能总结 | 第86-88页 |
| 第6章 总结和展望 | 第88-90页 |
| §6．1 研究工作总结 | 第88-89页 |
| §6．2 今后工作展望 | 第89-90页 |
| 附录 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |