波长调谐相移干涉测量技术的研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-15页 |
| §1.1 相移干涉测量技术的基本情况 | 第12页 |
| §1.2 本课题的由来 | 第12-13页 |
| §1.3 方案论证 | 第13-15页 |
| 第二章 实验原理及方法 | 第15-24页 |
| §2.1 实验原理 | 第15-17页 |
| §2.2 实验方法 | 第17-24页 |
| 第三章 实验系统的建立 | 第24-48页 |
| §3.1 干涉系统光源 | 第24-37页 |
| §3.1.1 半导体激光器波长调谐 | 第25页 |
| §3.1.2 半导体激光器的温控 | 第25-28页 |
| §3.1.3 半导体激光器的驱动电路和电源 | 第28-32页 |
| §3.1.4 半导体激光器的参数测量 | 第32-37页 |
| §3.2 计算机系统 | 第37-46页 |
| §3.2.1 相位解包裹技术 | 第37-40页 |
| §3.2.2 Zernike多项式拟合 | 第40-42页 |
| §3.2.3 Zernike多项式拟合后的分析 | 第42-43页 |
| §3.2.4 计算机编程 | 第43-44页 |
| §3.2.5 系统界面 | 第44-46页 |
| §3.3 干涉系统 | 第46-47页 |
| §3.4 摄像系统 | 第47页 |
| §3.5 数字化图像系统 | 第47-48页 |
| 第四章 实验及误差分析 | 第48-71页 |
| §4.1 实验及分析 | 第49-63页 |
| §4.1.1 实验一 | 第49-51页 |
| §4.1.2 实验二 | 第51-53页 |
| §4.1.3 实验三 | 第53-55页 |
| §4.1.4 实验四 | 第55-58页 |
| §4.1.5 实验五 | 第58-60页 |
| §4.1.6 实验六 | 第60-61页 |
| §4.1.7 实验七 | 第61-63页 |
| §4.2 误差分析 | 第63-71页 |
| §4.2.1 相移步进误差 | 第63-66页 |
| §4.2.2 激光光强的变化 | 第66-67页 |
| §4.2.3 相位主值图解包裹过程中的失效区域 | 第67-69页 |
| §4.2.4 Zernike多项式拟合精度 | 第69页 |
| §4.2.5 干涉系统本身的误差 | 第69页 |
| §4.2.6 被测面自身面形的变化 | 第69-70页 |
| §4.2.7 窗函数应用中的近似误差 | 第70-71页 |
| 第五章 总结 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76页 |
