| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·选题背景和意义 | 第9-10页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第10-13页 |
| 2 硅微加速度传感器的现状 | 第13-23页 |
| ·目前硅基加速度传感器研究情况 | 第13-20页 |
| ·压阻式硅微加速度传感器 | 第13-16页 |
| ·电容式硅微加速度传感器 | 第16-18页 |
| ·力平衡式硅加速度传感器 | 第18页 |
| ·硅微热式加速度传感器 | 第18-19页 |
| ·硅微谐振加速度传感器 | 第19-20页 |
| ·硅微压电加速度传感器 | 第20页 |
| ·几种加速度传感器的分析 | 第20-22页 |
| ·传感器主要指标 | 第22-23页 |
| 3 压阻式高g值加速度传感器结构设计 | 第23-35页 |
| ·弹性元件的结构方案 | 第23-24页 |
| ·弹性元件的结构设计 | 第24-28页 |
| ·结构尺寸与应力分布 | 第25-26页 |
| ·弹性元件的变形与结构灵敏度 | 第26-28页 |
| ·悬臂梁的变形与结构灵敏度 | 第26-27页 |
| ·双臂梁的变形与结构灵敏度 | 第27-28页 |
| ·结构尺寸与固有频率 | 第28页 |
| ·结构尺寸设计 | 第28-32页 |
| ·约束条件 | 第28-30页 |
| ·参数设计 | 第30页 |
| ·参数验算 | 第30-32页 |
| ·传感器的量程和抗过载能力 | 第32-33页 |
| ·横向灵敏度 | 第33-35页 |
| ·单臂梁的横向灵敏度 | 第33页 |
| ·双臂梁的横向灵敏度 | 第33-35页 |
| 4 压阻元件的设计 | 第35-43页 |
| ·合理利用压阻系数 | 第35-37页 |
| ·压阻条的参数及结构 | 第37-38页 |
| ·压阻电桥 | 第37页 |
| ·压阻电桥的阻值 | 第37页 |
| ·压阻的尺寸 | 第37-38页 |
| ·压阻电桥的位置布置及连接 | 第38-40页 |
| ·传感器输出灵敏度 | 第40-43页 |
| 5 硅微加速度传感器的微机械加工 | 第43-54页 |
| ·悬臂梁的制作工艺 | 第43-45页 |
| ·加速度传感器芯片的加工工艺 | 第45-50页 |
| ·制作工艺中的有关问题 | 第50-54页 |
| ·键合 | 第50页 |
| ·双面光刻技术 | 第50-51页 |
| ·电阻条的离子注入 | 第51-52页 |
| ·腐蚀工艺 | 第52页 |
| ·封装 | 第52-54页 |
| 6 加速度传感器性能测试与结果分析 | 第54-68页 |
| ·结构参数测试 | 第54-59页 |
| ·样品照片 | 第54-55页 |
| ·样品参数测试 | 第55-57页 |
| ·测试结果分析 | 第57-59页 |
| ·阻值分析 | 第57-58页 |
| ·结构尺寸 | 第58-59页 |
| ·加速度传感器灵敏度的标定 | 第59-68页 |
| ·比较法工作原理 | 第59-60页 |
| ·电桥失平衡的调整及信号调理 | 第60-61页 |
| ·动态标定结果 | 第61-62页 |
| ·加速度传感器灵敏度标定数据处理 | 第62-67页 |
| ·动态灵敏度标定结果分析 | 第67-68页 |
| 7 高g值硅微加速度传感器的改进设计 | 第68-76页 |
| ·高g值硅微加速度传感器的结构改进设计 | 第68-69页 |
| ·梁结构硅微加速度传感器的阻尼设计 | 第69-71页 |
| ·传感器输出电压的漂移与补偿 | 第71-75页 |
| ·传感器零点漂移和热零点漂移 | 第71-74页 |
| ·传感器输出的温度补偿 | 第74-75页 |
| ·严格控制工艺条件，提高传感器的性能 | 第75-76页 |
| 8 基于微硅加速度传感器的引信发射环境信息识别 | 第76-87页 |
| ·引信环境传感器 | 第76-79页 |
| ·引信发射环境识别的安全性与可靠性 | 第79-82页 |
| ·奈曼-皮尔逊(Neyman-Pearson)准则 | 第79-80页 |
| ·引信发射环境识别的安全性与可靠性 | 第80-82页 |
| ·引信发射环境信息的识别方法-阈值+时间窗法 | 第82-87页 |
| ·悬臂梁阈值开关环境识别 | 第82-83页 |
| ·基于加速度传感器的环境识别方法 | 第83-87页 |
| 9 微机电引信发展模式展望 | 第87-91页 |
| ·MEMS技术将使引信安全系统向固态安全系统发展 | 第87-88页 |
| ·MEMS技术的发展将导致固态引信诞生 | 第88-89页 |
| ·MEMS技术可以实现引信制导一体化，发展低成本强力弹药 | 第89-91页 |
| 结束语 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |