| 致谢 | 第1-3页 |
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 第二章 文献综述 | 第12-29页 |
| 2．1 反射式光寻址液晶光阀 | 第12-14页 |
| 2．2 液晶光阀的结构和工作原理 | 第14-16页 |
| 2．3 液晶光阀的应用 | 第16-20页 |
| 2．3．1 非相干光转换成相干光 | 第16页 |
| 2．3．2 实时光学相关 | 第16-17页 |
| 2．3．3 实时图像相减 | 第17-18页 |
| 2．3．4 光计算 | 第18-20页 |
| 2．4 非晶硅薄膜 | 第20-28页 |
| 2．4．1 非晶硅薄膜的结构 | 第20-21页 |
| 2．4．2 PECVD法制备a-Si：H薄膜的生长机制 | 第21-23页 |
| 2．4．3 光导层中载流子的横向扩散与光阀分辨率的关系 | 第23-25页 |
| 2．4．4 柱状结构复合薄膜对液晶光阀分辨率的影响 | 第25-27页 |
| 2．4．5 金属诱导a-Si：H制备多晶硅复合薄膜 | 第27-28页 |
| 2．5 本论文的研究目的与意义 | 第28-29页 |
| 第三章 实验过程 | 第29-41页 |
| 3．1 实验设备 | 第29-32页 |
| 3．1．1 真空热蒸发实验设备 | 第29-30页 |
| 3．1．2 光导层复合薄膜沉积实验设备 | 第30-31页 |
| 3．1．3 旋涂镀膜设备 | 第31-32页 |
| 3．2 实验材料 | 第32-33页 |
| 3．2．1 薄膜制备用原材料 | 第32-33页 |
| 3．2．2 基板材料 | 第33页 |
| 3．2．3 其它实验材料 | 第33页 |
| 3．3 测试方法 | 第33-37页 |
| 3．3．1 膜厚测试 | 第33页 |
| 3．3．2 X射线衍射 | 第33-34页 |
| 3．3．3 扫描电镜（SEM） | 第34页 |
| 3．3．4 高分辨透射电镜（HRTEM） | 第34-35页 |
| 3．3．5 薄膜电导率测试 | 第35-36页 |
| 3．3．6 紫外可见光光谱测试（UV） | 第36页 |
| 3．3．7 原子力显微镜（AFM） | 第36页 |
| 3．3．8 反射透射比性能测试 | 第36-37页 |
| 3．4 液晶光阀的制备 | 第37-41页 |
| 3．4．1 基板的清洗 | 第37页 |
| 3．4．2 CdTe阻光膜的制备 | 第37-38页 |
| 3．4．3 ZnS／MgF_2介质镜的制备 | 第38页 |
| 3．4．4 Al／a-Si：H光导层复合薄膜的沉积 | 第38-39页 |
| 3．4．5 聚酰亚胺定向膜的制备 | 第39页 |
| 3．4．6 液晶光阀器件的制备 | 第39-41页 |
| 第四章 非晶硅／纳米硅复合柱状结构光导层光电性能研究 | 第41-55页 |
| 4．1 柱状复合薄膜的结构与性能研究基础 | 第41-48页 |
| 4．1．1 柱状复合薄膜对光阀光导层分辨率的影响的理论分析 | 第41-43页 |
| 4．1．2 柱状复合光导膜的实验研究基础 | 第43-48页 |
| 4．2 光导层薄膜的光电性能研究 | 第48-53页 |
| 4．3 小结 | 第53-55页 |
| 第五章 阻光层和介质镜层的制备工艺研究 | 第55-72页 |
| 5．1 阻光层的光学特性研究 | 第55-57页 |
| 5．2 ZnS／MgF_2复合膜的光学性能研究 | 第57-65页 |
| 5．2．1 ZnS／MgF_2复合膜的反射特性测试分析 | 第57-59页 |
| 5．2．2 ZnS／MgF_2复合膜的U-V光谱测试分析 | 第59-65页 |
| 5．3 ZnS／MgF2复合膜的结构性能分析 | 第65-69页 |
| 5．3．1 ZnS／MgF2复合膜的XRD测试 | 第65-66页 |
| 5．3．2 ZnS／MgF_2复合膜的原子力显微镜测试分析 | 第66-68页 |
| 5．3．3 ZnS／MgF_2复合膜的扫描电镜分析 | 第68-69页 |
| 5．4 实验中存在的问题及其解决 | 第69-70页 |
| 5．5 小结 | 第70-72页 |
| 第六章 定向层和液晶层的制备工艺研究 | 第72-82页 |
| 6．1 聚酰亚胺涂覆工艺研究 | 第72-73页 |
| 6．2 聚酰亚胺薄膜的固化性能研究 | 第73-77页 |
| 6．3 聚酰亚胺薄膜摩擦性能研究 | 第77-79页 |
| 6．4 液晶层调制性能研究 | 第79-80页 |
| 6．5 小结 | 第80-82页 |
| 第七章 液晶光阀器件制备及器件性能的测试 | 第82-88页 |
| 7．1 液晶光阀及测试系统 | 第82-84页 |
| 7．2 液晶光阀的输出特性测试 | 第84-86页 |
| 7．3 液晶光阀的分辨率及投射特性测试 | 第86-87页 |
| 7．4 小结 | 第87-88页 |
| 第八章 结论 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-98页 |
| 已录用或已投稿论文 | 第98-99页 |
