| 论文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 第一节 ZnO的结构和性质 | 第10-13页 |
| 第二节 ZnO薄膜的应用 | 第13-15页 |
| 第三节 掺杂ZnO薄膜的特性和研究现状 | 第15-17页 |
| 第四节 柔性衬底上透明导电膜的研究进展 | 第17-21页 |
| 第五节 本论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜制备和性能表征技术 | 第23-33页 |
| 第一节 脉冲激光沉积(PLD)技术 | 第23-26页 |
| 第二节 薄膜性能表征技术 | 第26-33页 |
| 第三章 Al掺杂ZnO薄膜的制备与性能 | 第33-46页 |
| 第一节 实验方法 | 第33-34页 |
| 第二节 AZO薄膜的形貌和微结构 | 第34-37页 |
| 第三节 AZO薄膜的光学性能 | 第37-40页 |
| 第四节 AZO薄膜的电学性能 | 第40-41页 |
| 第五节 不同制备参数对AZO薄膜性能的影响 | 第41-45页 |
| 第六节 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 Hf掺杂ZnO薄膜的制备与性能 | 第46-54页 |
| 第一节 实验方法 | 第46-47页 |
| 第二节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的结构和形貌 | 第47-49页 |
| 第三节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的光学性能 | 第49-52页 |
| 第四节 Hf_xZn_(1-x)O薄膜的导电性能 | 第52-53页 |
| 第五节 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59页 |