| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·课题背景和意义 | 第9页 |
| ·国内外研究概况 | 第9-11页 |
| ·压电晶体式微位移控制仪介绍 | 第11页 |
| ·本文的主要内容 | 第11-13页 |
| 2 压电晶体开环控制仪的研制 | 第13-28页 |
| ·压电晶体选型 | 第13页 |
| ·总体结构 | 第13-14页 |
| ·120 V线性直流稳压电源 | 第14-21页 |
| ·压电晶体驱动电路 | 第21-28页 |
| 3 压电晶体闭环控制 | 第28-39页 |
| ·闭环控制与开环控制的性能比较 | 第28-29页 |
| ·LVDT传感器原理 | 第29-31页 |
| ·闭环控制设计方案 | 第31-39页 |
| 4 微位移控制仪数字控制部分设计 | 第39-54页 |
| ·手调元件的选用与软件设计 | 第39-49页 |
| ·单片机接口选择及上层软件 | 第49-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-55页 |
| ·全文总结 | 第54页 |
| ·不足与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |