声表面波传感器模拟与仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·声表面波技术应用及发展 | 第9-10页 |
| ·声表面波技术应用 | 第9-10页 |
| ·声表面波技术发展 | 第10页 |
| ·SAW器件设计仿真技术 | 第10-11页 |
| ·本课题研究意义 | 第11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 声表面波技术 | 第12-34页 |
| ·压电晶体 | 第12-22页 |
| ·压电晶体物理性能 | 第12-16页 |
| ·压电方程 | 第16-18页 |
| ·压电晶体 | 第18-22页 |
| ·声表面波 | 第22-30页 |
| ·声表面波理论基础 | 第22-26页 |
| ·各向同性介质中的声表面波 | 第26-28页 |
| ·各向异性压电材料中的声表面波 | 第28-30页 |
| ·压电基片定向切割和参数矩阵坐标变换 | 第30-33页 |
| ·压电基片定向切割 | 第30-31页 |
| ·压电参数矩阵的坐标变换 | 第31-33页 |
| ·声表面波技术 | 第33-34页 |
| 第三章 声表面波仿真模型 | 第34-47页 |
| ·叉指换能器 | 第34-36页 |
| ·IDT基本结构 | 第34-35页 |
| ·基本特性 | 第35-36页 |
| ·IDT仿真模型 | 第36-47页 |
| ·δ函数模型 | 第37-38页 |
| ·脉冲响应模型 | 第38-39页 |
| ·等效电路模型 | 第39-41页 |
| ·P矩阵模型 | 第41-43页 |
| ·COM模型 | 第43-45页 |
| ·ANSYS压电耦合分析方法 | 第45-47页 |
| 第四章 声表面波传感仿真设计研究 | 第47-75页 |
| ·SAW技术在温度传感领域的应用 | 第47-48页 |
| ·SAW温度传感原理 | 第47-48页 |
| ·SAW技术在温度传感领域的应用 | 第48页 |
| ·谐振型温度传感器仿真 | 第48-67页 |
| ·输入导纳频率特性分析 | 第49-51页 |
| ·散射损耗特性分析 | 第51-54页 |
| ·插入损耗和反射系数特性分析 | 第54-57页 |
| ·栅模频散特性分析 | 第57-58页 |
| ·压电耦合仿真分析 | 第58-66页 |
| ·仿真结果论证 | 第66-67页 |
| ·谐振型温度传感器设计研究 | 第67-73页 |
| ·传感器制作 | 第67页 |
| ·传感器谐振特性检测 | 第67-73页 |
| ·温度谐振特性检测 | 第73页 |
| ·SAW传感技术应用 | 第73-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·全文总结 | 第75页 |
| ·存在的问题及展望 | 第75-77页 |
| 附录：左旋α石英单晶和 LiN603 晶体参数 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文与科研工作 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
