微表面形貌检测仪的系统建模和功能扩展研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·微表面形貌检测的测量方法 | 第8-9页 |
| ·干涉计量中的相位测量方法 | 第9-10页 |
| ·国内外形貌检测仪的发展现状 | 第10-12页 |
| ·微表面形貌检测测量范围的扩展 | 第12-13页 |
| ·双波长测量法 | 第12-13页 |
| ·白光干涉法 | 第13页 |
| ·光学系统模拟软件 | 第13-15页 |
| ·以透镜设计为核心的软件 | 第14页 |
| ·以照明效果模拟为核心的软件 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究工作与各章主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 微表面形貌检测仪的结构 | 第16-31页 |
| ·微表面形貌检测仪的总体结构 | 第16-17页 |
| ·微表面形貌检测仪的光学结构 | 第17-26页 |
| ·微表面形貌检测仪的显微干涉结构 | 第17-19页 |
| ·光源及照明部分 | 第19-26页 |
| ·微表面形貌检测仪的软件结构 | 第26-29页 |
| ·干涉图像的采集 | 第27页 |
| ·数据处理 | 第27-29页 |
| ·表面形貌参数测定 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 微表面形貌检测仪的系统建模 | 第31-41页 |
| ·干涉系统的光能计算 | 第31-33页 |
| ·光学系统的光能损失 | 第31-32页 |
| ·系统的光能计算 | 第32-33页 |
| ·LightTools 软件简介 | 第33-34页 |
| ·光学系统的软件建模 | 第34-40页 |
| ·光源的模拟 | 第34-37页 |
| ·透镜的模拟 | 第37-38页 |
| ·被测物的模拟 | 第38页 |
| ·系统模拟效果 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 白光相移干涉算法研究 | 第41-60页 |
| ·相移干涉法 | 第41-50页 |
| ·相移干涉原理 | 第41-44页 |
| ·相位解包裹原理 | 第44-46页 |
| ·双波长测量法 | 第46-50页 |
| ·白光干涉法 | 第50-59页 |
| ·白光相关峰探测法 | 第51-54页 |
| ·组合光源法 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 白光相移干涉法实验研究 | 第60-70页 |
| ·双波长测量法实验 | 第60-63页 |
| ·实验步骤 | 第60页 |
| ·不同波长组合的双波长测量法实验 | 第60-62页 |
| ·单波长测量对比 | 第62页 |
| ·双波长测量法误差分析 | 第62-63页 |
| ·白光干涉实验 | 第63-69页 |
| ·白光LED 照明的白光相关峰探测实验 | 第64-65页 |
| ·组合光源照明的白光相关峰探测实验 | 第65-69页 |
| ·粗糙度测量的重复测量精度 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
