| 中文摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·PID控制器参数调整方法简介 | 第9-12页 |
| ·经验加观察调整法 | 第9-11页 |
| ·专家智能型自适应调整法 | 第11-12页 |
| ·模糊控制技术的现状及发展趋势 | 第12-14页 |
| ·项目背景及主要研究内容 | 第14-17页 |
| ·项目背景 | 第14-15页 |
| ·项目解决方案 | 第15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 模糊控制原理 | 第17-30页 |
| ·模糊控制基本理论 | 第17-20页 |
| ·模糊控制理论的产生及发展简介 | 第17-18页 |
| ·模糊控制系统的组成 | 第18-19页 |
| ·模糊控制的基本原理 | 第19-20页 |
| ·模糊控制器设计的基本方法 | 第20-30页 |
| ·模糊控制器的结构设计 | 第21页 |
| ·模糊控制规则的设计 | 第21-23页 |
| ·精确量的模糊化方法 | 第23页 |
| ·模糊推理及其模糊量的非模糊化(清晰化)方法 | 第23-24页 |
| ·论域、量化因子、比例因子的选择 | 第24-27页 |
| ·模糊控制算法与查询表 | 第27-28页 |
| ·采样时间的选择 | 第28-30页 |
| 3 参数自调整模糊 PID控制器的设计 | 第30-42页 |
| ·参数自调整模糊PID控制器的结构 | 第30页 |
| ·模糊控制器变量的选择 | 第30-32页 |
| ·模糊控制规则的建立 | 第32-37页 |
| ·模糊变量赋值表的确定 | 第37-38页 |
| ·模糊推理及解模糊化 | 第38-42页 |
| 4 仿真和性能分析 | 第42-49页 |
| ·MATLAB及仿真环境Simulink的介绍 | 第42-43页 |
| ·仿真步骤 | 第43-46页 |
| ·仿真结果及性能分析 | 第46-49页 |
| 5 氟气加气站自动化改造的硬件系统设计 | 第49-74页 |
| ·PLC简介及发展趋势 | 第49-51页 |
| ·氟气加气站系统设计要求及硬件结构 | 第51-56页 |
| ·氟气加气站系统设计要求 | 第51-52页 |
| ·系统具体的技术要求 | 第52-55页 |
| ·氟气加气站系统的硬件结构设计 | 第55-56页 |
| ·CPU的选型及性能介绍 | 第56-59页 |
| ·数字量输出模块(DO) | 第59-60页 |
| ·模拟量输入/输出模块(AI/AO) | 第60-69页 |
| ·四通道模拟量输入模块(F2-04AD-1) | 第60-66页 |
| ·两通道模拟量电流输出模块(F2-02DA-1) | 第66-69页 |
| ·输入/输出隔离栅 | 第69-72页 |
| ·输入隔离栅(EKZ9744) | 第70-71页 |
| ·输出隔离栅(EKZ9749) | 第71-72页 |
| ·以太网通讯模块(H2-ECOM) | 第72-74页 |
| 6 模糊PID控制器在氟气加气站压力控制系统中的应用 | 第74-88页 |
| ·压力控制系统框图 | 第74页 |
| ·系统软件流程图 | 第74-80页 |
| ·触摸屏(EA7-T8C-C)简介 | 第80-82页 |
| ·操作界面 | 第82-87页 |
| ·系统运行结果 | 第87-88页 |
| 7 结论与展望 | 第88-90页 |
| 附录1 PLC输入输出点表 | 第90-93页 |
| 附录2 系统工艺流程图 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-96页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第96-98页 |
| 致谢 | 第98页 |