| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·研究背景 | 第14-16页 |
| ·高纯氮气的制备 | 第16-20页 |
| ·氮气的性质及用途 | 第16-17页 |
| ·氮气的制备方法 | 第17-20页 |
| ·常规的痕量气体分析方法 | 第20-24页 |
| ·脉冲氦离子化色谱的发展过程 | 第20页 |
| ·高纯气体中CO、CH_4、CO_2测定 | 第20-21页 |
| ·高纯气体中痕量氧气的分析 | 第21页 |
| ·高纯气体中微量水测定方法 | 第21-22页 |
| ·红外光谱分析方法 | 第22-24页 |
| ·气体自动进样器发展概况 | 第24页 |
| ·本文研究的目的及内容 | 第24-25页 |
| 第二章 高纯氮气的纯化工艺 | 第25-30页 |
| ·工作流程 | 第25-28页 |
| ·原有的纯化技术路线 | 第25-27页 |
| ·高纯氮气纯化流程 | 第27-28页 |
| ·纯化原理 | 第28-29页 |
| ·工艺原理说明 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 高纯气中微痕量杂质分析方法的研究 | 第30-65页 |
| ·脉冲放电氦电离色谱分析方法研究 | 第30-34页 |
| ·条件的选择 | 第30-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-34页 |
| ·傅立叶红外光谱分析方法研究 | 第34-57页 |
| ·仪器及气体样品 | 第35-36页 |
| ·光谱仪参数的选择对光谱信号的影响 | 第36-38页 |
| ·红外气体池内气体状态参数的控制 | 第38-41页 |
| ·定量稀释的控制 | 第41-44页 |
| ·定性分析 | 第44-47页 |
| ·定量分析 | 第47-50页 |
| ·不确定度评价程序 | 第50-56页 |
| ·硫化氢纯气的品质比较 | 第56-57页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·痕量水分及氧气的分析方法研究 | 第57-63页 |
| ·痕量水的分析方法 | 第57-62页 |
| ·微氧测定 | 第62-63页 |
| ·HALO-H_2O微水仪与Delta—F微氧仪串联 | 第63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第四章 高纯氮气纯度定值 | 第65-73页 |
| ·GC-FID检测 | 第65-67页 |
| ·GC-PDHID检测 | 第67页 |
| ·傅立叶红外光谱扫描 | 第67-71页 |
| ·建立标准曲线 | 第67-70页 |
| ·用标准曲线定量分析高纯氮中的杂质 | 第70-71页 |
| ·痕量水和氧的测定 | 第71页 |
| ·高纯氮纯度定值 | 第71-72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第五章 气体自动进样器的研制 | 第73-80页 |
| ·设计原理 | 第73-77页 |
| ·设计技术指标 | 第73页 |
| ·系统结构设计与组成 | 第73页 |
| ·设计原理 | 第73-75页 |
| ·控制软件部分 | 第75-77页 |
| ·性能与应用 | 第77-79页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| 第六章 结论 | 第80-81页 |
| 第七章 参考文献 | 第81-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第85-86页 |
| 作者简介 | 第86-87页 |
| 导师简介 | 第87-88页 |
| 北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第88-89页 |