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半固着磨具磨损和修整技术的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
符号说明第10-11页
第1章 绪论第11-25页
   ·研究背景第11-12页
   ·国内外研究现状及分析第12-16页
     ·磨粒加工技术研究现状第12-14页
     ·半固着磨粒加工技术第14-16页
   ·磨具磨损和修整概述第16-24页
     ·磨具的磨损和堵塞第16-19页
     ·磨具加工性能的评价指标第19-20页
     ·磨具的形貌检测与分析方法第20-21页
     ·磨具的表面磨耗检测技术第21-22页
     ·磨具的修整技术第22-24页
   ·课题研究意义和研究内容第24-25页
第2章 半固着磨具及其特性分析第25-36页
   ·磨具的特点第25-26页
   ·半固着磨具的制作流程及微观结构第26-28页
     ·半固着磨具的制作流程第26-27页
     ·半固着磨具的微观结构第27-28页
   ·半固着磨具的物理特性第28-32页
     ·半固着磨具硬度检测第28-30页
     ·半固着磨具弹性模量检测第30-32页
   ·半固着磨具的加工特性第32-35页
     ·半固着磨具材料去除形式分析第32-33页
     ·半固着磨具加工特性对比第33-35页
   ·本章小结第35-36页
第3章 半固着磨具的磨损特性分析第36-51页
   ·实验设备及检测装置第36-39页
     ·实验设备第36-37页
     ·实验检测装置第37-39页
   ·半固着磨具的加工性能失效形式第39-48页
     ·半固着磨具研磨硅片第40-43页
     ·半固着磨具研磨氮化硅第43-48页
   ·半固着磨具磨损和堵塞对加工性能的影响第48-50页
     ·半固着磨具工作面磨损第48-49页
     ·半固着磨具磨损和堵塞对工件去除率的影响第49页
     ·半固着磨具磨损和堵塞对工件表面粗糙度的影响第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第4章 半固着磨具磨损和堵塞的影响因素研究第51-67页
   ·组织结构对半固着磨具磨损和堵塞的影响第51-54页
     ·磨粒粒径的影响第51-52页
     ·磨粒重量比浓度的影响第52-54页
   ·工艺因素对半固着磨具磨损和堵塞的影响第54-62页
     ·正交实验方法和数据分处理第54-58页
     ·流量的影响第58-59页
     ·载荷的影响第59-60页
     ·速度的影响第60-62页
   ·半固着磨具耐用度分析第62-66页
     ·半固着磨具耐用度的度量指标第62-64页
     ·判别半固着磨具耐用度的方法第64-65页
     ·提高半固着磨具耐用度的措施第65-66页
   ·本章小结第66-67页
第5章 半固着磨具的修整技术研究第67-86页
   ·半固着磨具修整方式选择第67-68页
   ·半固着磨具的整形研究第68-75页
     ·修整器整形数学模型的建立第69-71页
     ·修整器参数对整形效果的仿真分析第71-73页
     ·半固着磨具整形效果实验验证第73-75页
   ·半固着磨具加工性能的修复研究第75-85页
     ·修整率影响因素分析第75-78页
     ·修整参数对半固着磨具加工性能的影响第78-83页
     ·修整频率对半固着磨具加工性能的影响第83-85页
   ·本章小结第85-86页
第6章 结论和展望第86-88页
参考文献第88-91页
致谢第91-92页
攻读学位期间参加的科研项目和成果第92页

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