微电铸层内应力与微模具型芯制作的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·微电铸层的内应力问题 | 第10-11页 |
| ·内应力的去除方法 | 第11-15页 |
| ·热处理在金属去应力方面的研究 | 第12页 |
| ·低频振动时效在金属去应力方面的研究 | 第12-13页 |
| ·高频振动时效在金属去应力方面的研究 | 第13-15页 |
| ·微模具型芯的研究现状 | 第15-17页 |
| ·课题的研究内容 | 第17-18页 |
| 2 电铸层内应力的测量 | 第18-29页 |
| ·电铸层内应力的产生 | 第18页 |
| ·铸层内应力的测量方法 | 第18-20页 |
| ·电铸层内应力的测量 | 第20-28页 |
| ·测量原理 | 第20-23页 |
| ·测量方法 | 第23-26页 |
| ·内应力测量 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 铸层内应力的超声时效实验研究 | 第29-38页 |
| ·超声实验研究 | 第29-32页 |
| ·试样制备 | 第29-31页 |
| ·超声实验 | 第31-32页 |
| ·超声实验结果 | 第32-34页 |
| ·结果分析与讨论 | 第34-36页 |
| ·结果分析 | 第34-35页 |
| ·润湿剂对内应力的影响 | 第35页 |
| ·去应力效果比较 | 第35-36页 |
| ·超声时效机理讨论 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 微电铸工艺参数优化 | 第38-47页 |
| ·微电铸层内应力的正交实验 | 第38-40页 |
| ·正交实验过程 | 第38-39页 |
| ·正交实验结果及极差分析 | 第39-40页 |
| ·MATLAB及 BP神经网络 | 第40-42页 |
| ·电铸层内应力的 BP神经网络优化 | 第42-46页 |
| ·对样本数据的预处理 | 第42页 |
| ·网络参数的设定 | 第42-43页 |
| ·BP神经网络仿真 | 第43-44页 |
| ·仿真结果及实验验证 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 微模具型芯的制作和尺寸精度研究 | 第47-60页 |
| ·微模具型芯的制作工艺 | 第47-49页 |
| ·基底的前处理 | 第47-48页 |
| ·微模具型芯的制作 | 第48-49页 |
| ·微模具图形及其测量方法 | 第49-50页 |
| ·微模具型芯的宽度问题 | 第50-53页 |
| ·掩膜板宽度的补偿 | 第50-51页 |
| ·同一模具型芯宽度的不同 | 第51-52页 |
| ·宽度的改善 | 第52-53页 |
| ·微模具型芯的高度问题 | 第53-55页 |
| ·高度的不均匀性 | 第53-54页 |
| ·高度的改善 | 第54-55页 |
| ·工艺改善效果 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录A 镍铸层内应力的MATLAB仿真程序 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
