薄膜体声波谐振器的分析与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-13页 |
| ·本论文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 FBAR的原理和结构 | 第14-24页 |
| ·FBAR的电学特性 | 第14-20页 |
| ·基本压电理论及FBAR的基本原理 | 第14-15页 |
| ·理想FBAR | 第15-16页 |
| ·谐振的物理解释 | 第16-18页 |
| ·复合FBAR | 第18-20页 |
| ·FBAR带通滤波器 | 第20-24页 |
| ·带通滤波器的定义 | 第20-21页 |
| ·FBAR带通滤波器的结构 | 第21-22页 |
| ·器件的优值 | 第22-24页 |
| 第三章 FBAR的制备及测试 | 第24-35页 |
| ·MEMS工艺背景 | 第24-30页 |
| ·沉积 | 第24-29页 |
| ·光刻胶图形化(patterning) | 第29-30页 |
| ·刻蚀(eching) | 第30页 |
| ·压电薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·FBAR器件的制备 | 第31-32页 |
| ·FBAR压电薄膜的分析与表征 | 第32-33页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第33页 |
| ·电子显微分析 | 第33页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第33页 |
| ·FBAR器件的测量 | 第33-35页 |
| 第四章 FBAR的建模及仿真 | 第35-48页 |
| ·晶体的点阵结构 | 第35-36页 |
| ·晶体的弹性 | 第36-39页 |
| ·晶体的介电性 | 第39-45页 |
| ·晶体的压电性和压电方程 | 第40-42页 |
| ·理想FBAR的Mason等效模型 | 第42-45页 |
| ·复合FBAR的输入阻抗 | 第45-48页 |
| 第五章 材料尺寸属性对FBAR性能的影响 | 第48-63页 |
| ·材料尺寸属性对FBAR性能的影响 | 第48-58页 |
| ·FBAR的输入阻抗谱 | 第49-50页 |
| ·不同压电材料和厚度的影响 | 第50-52页 |
| ·不同电极材料和厚度的影响 | 第52-55页 |
| ·不同基底材料和厚度的影响 | 第55-57页 |
| ·不同电极面积的影响 | 第57-58页 |
| ·特殊谐振模式的决定 | 第58-63页 |
| ·特殊谐振模式的性能参数 | 第58页 |
| ·仿真程序 | 第58-59页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第59-63页 |
| 第六章 FBAR滤波器的设计 | 第63-83页 |
| ·FBAR的BVD等效电路模型 | 第63-73页 |
| ·BVD模型 | 第63-65页 |
| ·MBVD模型的参数提取 | 第65-66页 |
| ·MBVD模型的ADS仿真库的建立 | 第66-68页 |
| ·FBAR的MBVD等效模型仿真 | 第68-73页 |
| ·FBAR滤波器的设计及仿真 | 第73-78页 |
| ·阶梯滤波器的原理 | 第74-75页 |
| ·FBAR滤波器的BVD模型及仿真 | 第75-78页 |
| ·FBAR器件的设计方法 | 第78-79页 |
| ·FBAR分析设计软件 | 第79-83页 |
| 第七章 总结及展望 | 第83-85页 |
| ·论文的主要研究成果 | 第83-84页 |
| ·论文的主要创新点 | 第84页 |
| ·论文的不足之处和将来的工作 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第89页 |
