| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 反射型面形测量的发展概况 | 第8-14页 |
| 1.1.1 接触式测量方法 | 第9页 |
| 1.1.2 光学非接触测量方法 | 第9-14页 |
| 1.1.2.1 干涉测量法 | 第9-10页 |
| 1.1.2.2 光学探针法 | 第10页 |
| 1.1.2.3 结构光法 | 第10-11页 |
| 1.1.2.4 条纹反射技术 | 第11-12页 |
| 1.1.2.5 Hartmann波前测量法 | 第12-14页 |
| 1.2 二维光学点阵的产生及应用 | 第14-17页 |
| 1.3 本课题研究的主要目的与内容 | 第17-19页 |
| 第2章 基于二维光学点阵形变的面形测量方法 | 第19-34页 |
| 2.1 面形测量方法的原理 | 第19-20页 |
| 2.2 面形测量方法的理论模型 | 第20-26页 |
| 2.2.1 正入射的理论模型 | 第20-22页 |
| 2.2.2 斜入射的理论模型 | 第22-26页 |
| 2.3 面形测量方法的仿真分析 | 第26-31页 |
| 2.3.1 光学仿真软件Zemax介绍 | 第26页 |
| 2.3.2 面形测量系统的Zemax仿真 | 第26-31页 |
| 2.4 面形测量方法的分辨率与测量范围 | 第31-34页 |
| 2.4.1 面形测量方法的分辨率 | 第31-32页 |
| 2.4.2 面形测量系方法的测量范围 | 第32-34页 |
| 第3章 反射型面形测量系统 | 第34-44页 |
| 3.1 面形测量系统 | 第34-36页 |
| 3.1.1 实验光路系统 | 第34-35页 |
| 3.1.2 光学系统设计要素 | 第35-36页 |
| 3.2 实验装置 | 第36-41页 |
| 3.2.1 空间光调制器 | 第36-37页 |
| 3.2.2 变形镜 | 第37-41页 |
| 3.3 面形重构算法 | 第41-44页 |
| 3.3.1 路径积分法 | 第41页 |
| 3.3.2 基于Zernike多项式的模式重构算法 | 第41-44页 |
| 第4章 实验及其分析 | 第44-59页 |
| 4.1 反射镜面形测量实验 | 第44-48页 |
| 4.1.1 变形镜反射面形的设定 | 第44-45页 |
| 4.1.2 变形镜反射面的面形测量 | 第45-48页 |
| 4.2 测量反射镜的面形重构 | 第48-53页 |
| 4.3 面形测量系统的分辨率和测量范围 | 第53页 |
| 4.4 测量结果分析 | 第53-59页 |
| 第5章 总结和展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |