压电技术在芯片散热及加速度计中的应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 压电泵的研究状况 | 第15-22页 |
| 1.2.1 压电薄膜泵 | 第15-18页 |
| 1.2.2 压电超声泵 | 第18-22页 |
| 1.3 微通道散热器的研究状况 | 第22-25页 |
| 1.4 加速度计的研究状况 | 第25-29页 |
| 1.4.1 压阻式加速度计 | 第25-26页 |
| 1.4.2 电容式加速度计 | 第26-27页 |
| 1.4.3 谐振式加速度计 | 第27页 |
| 1.4.4 压电式加速度计 | 第27-29页 |
| 1.5 主要研究内容和组织框架 | 第29-31页 |
| 第二章 压电材料 | 第31-39页 |
| 2.1 压电材料定义 | 第31-32页 |
| 2.2 压电材料分类 | 第32-33页 |
| 2.3 压电陶瓷的性质 | 第33-36页 |
| 2.4 压电薄膜材料的制备方法 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 微型压电超声泵及散热系统的设计 | 第39-87页 |
| 3.1 压电超声泵的系统设计 | 第39-44页 |
| 3.2 压电超声泵的原理 | 第44-50页 |
| 3.2.1 驻波与行波 | 第44-45页 |
| 3.2.2 驻波的产生 | 第45页 |
| 3.2.3 圆盘结构的振动分析 | 第45-49页 |
| 3.2.4 圆板内的行波运动 | 第49页 |
| 3.2.5 压电陶瓷的排布 | 第49-50页 |
| 3.3 ANSYS仿真分析与设计 | 第50-60页 |
| 3.3.1 单元类型及材料参数 | 第51-52页 |
| 3.3.2 微型压电超声泵的模态分析 | 第52-54页 |
| 3.3.3 谐响应分析 | 第54-56页 |
| 3.3.4 水力分析 | 第56-60页 |
| 3.4 压电超声泵的优化设计 | 第60-67页 |
| 3.5 影响压电超声泵性能的因素 | 第67-72页 |
| 3.5.1 流体性质对微泵性能的影响 | 第67-70页 |
| 3.5.2 驱动电源频率与幅值对微泵性能的影响 | 第70-72页 |
| 3.6 结构强度分析 | 第72-73页 |
| 3.7 疲劳分析 | 第73-76页 |
| 3.8 压电超声泵的工艺流程 | 第76-79页 |
| 3.8.1 微机电系统MEMS技术介绍 | 第76-77页 |
| 3.8.2 压电超声泵的MEMS简单工艺流程 | 第77-79页 |
| 3.9 微通道散热器的设计 | 第79-85页 |
| 3.10 本章小结 | 第85-87页 |
| 第四章 微压电加速度计的分析设计 | 第87-98页 |
| 4.1 微压电加速度计的原理 | 第87-89页 |
| 4.2 微压电加速度计的设计指标 | 第89-91页 |
| 4.3 微压电加速度计的结构 | 第91-92页 |
| 4.4 微压电加速度计的理论及仿真分析 | 第92-95页 |
| 4.4.1 微压电加速度计的理论分析 | 第92-94页 |
| 4.4.2 微压电加速度计的仿真分析 | 第94-95页 |
| 4.5 微压电加速度计的结构尺寸对性能的影响 | 第95-97页 |
| 4.6 本章小结 | 第97-98页 |
| 第五章 总结与展望 | 第98-100页 |
| 5.1 工作总结 | 第98-99页 |
| 5.2 工作展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-103页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
