电弧离子镀内孔镀膜研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-15页
·研究背景	第9页
·电弧离子镀	第9-11页
·脉冲偏压电弧离子镀	第11-13页
·典型的硬质薄膜	第13-14页
·TiN薄膜	第13页
·DLC薄膜	第13-14页
·本论文的研究内容	第14-15页
2 实验设备与实验方法	第15-20页
·实验设备	第15-16页
·实验设计	第16-17页
·薄膜表征方法	第17-20页
·薄膜厚度的检测	第17页
·扫描电镜	第17-18页
·X射线衍射	第18页
·硬度的测量	第18-20页
·Raman光谱	第20页
3 内孔镀膜实验研究	第20-39页
·深管内壁TiN薄膜沉积	第20-30页
·TiN薄膜的制备	第20-23页
·深管内壁TiN薄膜的厚度分布	第23-24页
·深管内壁TiN薄膜的表面形貌	第24-26页
·深管内壁TiN薄膜的相结构	第26-29页
·深管内壁TiN薄膜的显微硬度	第29-30页
·深孔内壁DLC薄膜沉积	第30-38页
·DLC薄膜的制备	第30-32页
·深孔内壁DLC薄膜的宏观照片	第32-33页
·深孔内壁DLC薄膜的厚度	第33-36页
·深孔内壁DLC薄膜的拉曼光谱	第36-37页
·深孔内壁DLC薄膜的纳米硬度和弹性模量	第37-38页
·本章小结	第38-39页
4 理论分析与等离子体诊断辅助实验	第39-51页
·实验现象的理论分析	第39-41页
·静电探针介绍	第41-43页
·探针发展简史	第41页
·探针技术的特点和发展方向	第41-43页
·郎缪尔双探针原理	第43-44页
·离散傅里叶变换平滑方法	第44-45页
·诊断实验设计	第45-47页
·诊断实验结果	第47-49页
·本章小结	第49-51页
结论	第51-52页
展望	第52-53页
参考文献	第53-55页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第55-56页
致谢	第56-58页