| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 机床及导轨运动误差测量研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 基于多探头扫描法的误差分离研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 柔性铰链及柔性机构的柔度矩阵建立方法研究现状 | 第14-16页 |
| 1.5 本课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 改进型四点法及其影响因素分析 | 第17-31页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 多探头扫描法的误差分离理论 | 第17-21页 |
| 2.2.1 两点法 | 第17-18页 |
| 2.2.2 三点法 | 第18-20页 |
| 2.2.3 四点法 | 第20-21页 |
| 2.3 改进型四点法 | 第21-27页 |
| 2.3.1 分离原理 | 第21-24页 |
| 2.3.2 Tikhonov正则化方法 | 第24-26页 |
| 2.3.3 仿真验证 | 第26-27页 |
| 2.4 测量系统参数对改进型四点法精度的影响 | 第27-30页 |
| 2.4.1 采样间隔 | 第27-28页 |
| 2.4.2 采样点数目 | 第28页 |
| 2.4.3 探头位置误差 | 第28-29页 |
| 2.4.4 导轨定位误差 | 第29页 |
| 2.4.5 测量噪声 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 运动误差柔性检测机构设计与特性分析 | 第31-55页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 柔性误差检测装置设计 | 第31-35页 |
| 3.3 柔性机构的柔度建模 | 第35-41页 |
| 3.3.1 柔性铰链的柔度建模 | 第35-38页 |
| 3.3.2 串/并联型柔性机构的柔度建模 | 第38-41页 |
| 3.4 误差检测机构功能模块的柔度建模及特性分析 | 第41-50页 |
| 3.4.1 导向模块 | 第41-43页 |
| 3.4.2 放大模块 | 第43-50页 |
| 3.5 误差检测装置特性分析 | 第50-53页 |
| 3.5.1 静力学分析 | 第51-52页 |
| 3.5.2 模态分析 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 机床导轨运动误差的在线检测实验研究 | 第55-66页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 实验系统简介 | 第55-57页 |
| 4.2.1 误差检测系统样机研制 | 第55-56页 |
| 4.2.2 实验仪器 | 第56-57页 |
| 4.3 误差检测系统性能测试 | 第57-60页 |
| 4.3.1 放大倍数标定 | 第57-58页 |
| 4.3.2 输入刚度检测 | 第58-59页 |
| 4.3.3 固有频率检测 | 第59-60页 |
| 4.4 导轨运动误差的在线检测 | 第60-65页 |
| 4.4.1 基于激光干涉仪的导轨运动误差测量 | 第60-61页 |
| 4.4.2 基于在线检测方法的导轨运动误差检测 | 第61-63页 |
| 4.4.3 实验结果对比分析 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73页 |