| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-13页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10-12页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 低温等离子体源简介 | 第13-14页 |
| 1.2.1 电子回旋共振等离子体源（Electron Cyclotron Resonance ，ECR） | 第13页 |
| 1.2.2 螺旋波等离子体源（Helicon-Wave Plasma，HWP） | 第13-14页 |
| 1.2.3 射频容性耦合等离子体源（Capatively Coupled Plasma，CCP） | 第14页 |
| 1.2.4 射频感应耦合等离子体源（Inductively Coupled Plasma, ICP） | 第14页 |
| 1.3 目前感应耦合等离子源的研究热点 | 第14-22页 |
| 1.3.1 感应耦合等离子体的发生装置 | 第14-16页 |
| 1.3.2 E-H模式转换与回滞现象 | 第16-17页 |
| 1.3.3 静电耦合效应 | 第17页 |
| 1.3.4 射频感应耦合等离子体源基本原理和电路模型的研究 | 第17-20页 |
| 1.3.5 趋肤效应和反常趋肤效应 | 第20-21页 |
| 1.3.6 感应耦合等离子体在工业领域中的应用 | 第21-22页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验平台的搭建和等离子体诊断技术 | 第24-39页 |
| 2.1 实验平台的搭建 | 第24-29页 |
| 2.1.1 真空放电系统 | 第24-26页 |
| 2.1.2 机械泵组与气路系统 | 第26页 |
| 2.1.3 电气系统 | 第26-28页 |
| 2.1.4 水冷系统 | 第28页 |
| 2.1.5 等离子体诊断系统 | 第28-29页 |
| 2.2 LANGMUIR探针诊断技术 | 第29-35页 |
| 2.2.1 Langmuir探针简介 | 第29-30页 |
| 2.2.2 Langmuir单探针的基本原理 | 第30-33页 |
| 2.2.3 Langmuir双探针的基本原理 | 第33-35页 |
| 2.3 原子发射光谱诊断技术 | 第35-38页 |
| 2.3.1 原子发射光谱产生的机制 | 第35页 |
| 2.3.2 原子发射光谱分析理论基础 | 第35-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章E-H模式转换及回滞现象的实验研究 | 第39-48页 |
| 3.1 实验的设置 | 第39-40页 |
| 3.2 模式转换与回滞现象的探针诊断 | 第40-44页 |
| 3.2.1 电子密度的变化特征与分析 | 第40-43页 |
| 3.2.2 电子温度的变化特征与分析 | 第43-44页 |
| 3.3 模式转换与回滞现象的光谱诊断 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小节 | 第46-48页 |
| 第4章 感应耦合等离子体的探针及光谱诊断 | 第48-64页 |
| 4.1 感应耦合等离子体的探针诊断 | 第48-59页 |
| 4.1.1 气压对等离子体参数的影响 | 第48-52页 |
| 4.1.2 功率对等离子体参数的影响 | 第52-56页 |
| 4.1.3 空间分辨 | 第56-59页 |
| 4.2 感应耦合等离子体的光谱诊断 | 第59-63页 |
| 4.3 本章小节 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
