基于低温等离子体的材料表面处理及颗粒沉积图案的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 颗粒沉积图案的概述 | 第12-16页 |
| 1.2.1 表面润湿度 | 第13-14页 |
| 1.2.2 咖啡环效应 | 第14-15页 |
| 1.2.3 同心环结构形成 | 第15-16页 |
| 1.3 低温等离子体技术在材料表面处理中的应用 | 第16-20页 |
| 1.3.1 低温等离子体的概念 | 第16页 |
| 1.3.2 低温等离子体的分类 | 第16-18页 |
| 1.3.3 低温等离子体与材料作用原理 | 第18-20页 |
| 1.4 本文的主要研究工作 | 第20-22页 |
| 2 低温等离子体装置研究 | 第22-32页 |
| 2.1 低温等离子体装置概述 | 第22-24页 |
| 2.1.1 电源工作原理 | 第23-24页 |
| 2.2 低温等离子体电源设计 | 第24-28页 |
| 2.2.1 整流电路 | 第24-26页 |
| 2.2.2 逆变电路 | 第26-27页 |
| 2.2.3 驱动电路 | 第27-28页 |
| 2.3 低温等离子体调压原理 | 第28-29页 |
| 2.3.1 高频变压器等效模型 | 第28页 |
| 2.3.2 变压器绕组选择 | 第28-29页 |
| 2.3.3 变压器磁芯选择 | 第29页 |
| 2.4 低温等离子体输出装置 | 第29-30页 |
| 2.5 本章总结 | 第30-32页 |
| 3 低温等离子体的放电特性 | 第32-42页 |
| 3.1 主要放电参量 | 第32-35页 |
| 3.1.1 介质阻挡放电功率的测量 | 第32-33页 |
| 3.1.2 介质阻挡放电功率的理论推导 | 第33-34页 |
| 3.1.3 介质阻挡放电的实验 | 第34-35页 |
| 3.2 放电参数的确定 | 第35-37页 |
| 3.2.1 放电气隙电压 | 第35页 |
| 3.2.2 等效电容分析 | 第35-36页 |
| 3.2.3 传输电荷量 | 第36-37页 |
| 3.3 介质阻挡放电的特性研究 | 第37-40页 |
| 3.3.1 低温等离子体的放电电流特点 | 第37-38页 |
| 3.3.2 介质材料对低温等离子体放电特性的影响 | 第38-40页 |
| 3.3.3 放电气隙对输出电压的影响 | 第40页 |
| 3.4 本章总结 | 第40-42页 |
| 4 低温等离子体对材料表面颗粒沉积图案的应用研究 | 第42-58页 |
| 4.1 低温等离子体对材料表面的影响 | 第42-50页 |
| 4.1.1 实验原理 | 第42-43页 |
| 4.1.2 实验装置选择 | 第43-46页 |
| 4.1.3 不同材料表面接触角实验结果与分析 | 第46-49页 |
| 4.1.4 经时效性 | 第49-50页 |
| 4.2 低温等离子体对颗粒沉积的调控 | 第50-53页 |
| 4.2.1 玻璃表面颗粒沉积图案的实验 | 第50-52页 |
| 4.2.2 PDMS表面颗粒沉积图案的实验 | 第52-53页 |
| 4.2.3 实验总结 | 第53页 |
| 4.3 输入电压对颗粒沉积的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.1 实验溶液选取 | 第53页 |
| 4.3.2 实验结果分析 | 第53-54页 |
| 4.4 液滴浓度对颗粒沉积的影响 | 第54-55页 |
| 4.5 本章总结 | 第55-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第58页 |
| 5.2 展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第66-67页 |
