| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 研究工作背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3 选题依据与研究内容 | 第19-22页 |
| 1.3.1 选题依据 | 第19-20页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 W-5%Re/W-26%Re薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第22-42页 |
| 2.1 薄膜制备与表征 | 第22-26页 |
| 2.1.1 薄膜制备方法 | 第22-24页 |
| 2.1.2 薄膜表征方法 | 第24-26页 |
| 2.2 薄膜热电偶的标定方法 | 第26-28页 |
| 2.3 WRe薄膜的制备工艺 | 第28-30页 |
| 2.4 退火工艺对WRe薄膜电阻率和微观结构的影响 | 第30-35页 |
| 2.5 W-5%Re/W-26%Re薄膜热电偶抗氧化性能的研究 | 第35-38页 |
| 2.6 退火工艺对W-5%Re/W-26%Re薄膜热电偶热电性能的影响 | 第38-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 金属薄膜热电偶保护层的制备及性能研究 | 第42-59页 |
| 3.1 保护层设计要求 | 第42-43页 |
| 3.2 保护层材料选取与结构设计 | 第43-44页 |
| 3.3 金属薄膜热电偶保护层的制备及性能研究 | 第44-58页 |
| 3.3.1 W-5%Re/W-26%Re薄膜热电偶保护层的制备及性能研究 | 第44-47页 |
| 3.3.2 Pt-13%Rh/Pt薄膜热电偶保护层的制备及性能研究 | 第47-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 ITO/PtRh:PtRh薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第59-67页 |
| 4.1 ITO薄膜热电性能微观机理 | 第59-61页 |
| 4.2 ITO薄膜与ITO/PtRh复合薄膜的制备及性能研究 | 第61-63页 |
| 4.3 ITO/PtRh:PtRh薄膜热电偶的制备及热电性能研究 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 总结 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第76页 |
