| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 ICF——惯性约束核聚变 | 第10页 |
| 1.3 直线运动平台现状分析 | 第10-15页 |
| 1.4 激光参数测量用直线运动平台的关键技术探讨 | 第15-16页 |
| 1.5 主要研究内容及论文的结构安排 | 第16-19页 |
| 1.5.1 课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.5.2 课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 光学机械系统设计、分析及误差分配、分析 | 第19-37页 |
| 2.1 光学机械系统设计概述 | 第19页 |
| 2.2 光机集成分析 | 第19-21页 |
| 2.3 制定系统误差分配 | 第21-27页 |
| 2.3.1 精确度、重复性和分辨率 | 第21-23页 |
| 2.3.2 制定系统误差分配 | 第23-27页 |
| 2.4 准静态机械误差 | 第27-35页 |
| 2.4.1 几何误差 | 第28-32页 |
| 2.4.2 运动误差 | 第32-33页 |
| 2.4.3 外部负载引起的误差 | 第33页 |
| 2.4.4 重力引起的误差 | 第33页 |
| 2.4.5 机器部件中的载荷误差 | 第33-34页 |
| 2.4.6 热膨胀引起的误差 | 第34-35页 |
| 2.4.7 材料不稳定引起的误差 | 第35页 |
| 2.4.8 仪器误差 | 第35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 直线运动平台设计方案 | 第37-51页 |
| 3.1 直线运动平台主要误差及结构设计 | 第37-46页 |
| 3.1.1 主要误差源分析 | 第37-38页 |
| 3.1.2 齿轮齿条驱动原理、误差来源以及消除方法 | 第38-41页 |
| 3.1.3 基于齿轮齿条传动的设计方案 | 第41-43页 |
| 3.1.4 摩擦驱动原理、误差来源以及消除方法 | 第43-45页 |
| 3.1.5 基于摩擦驱动与消隙齿轮原理的设计方案 | 第45-46页 |
| 3.2 设计方案总结与分析 | 第46-47页 |
| 3.3 传感器的选用 | 第47-48页 |
| 3.3.1 传感器的类别 | 第47-48页 |
| 3.3.2 光栅尺工作原理 | 第48页 |
| 3.4 直线运动平台驱动系统 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 新型实时维护装置光学、机械系统设计与分析 | 第51-61页 |
| 4.1 新型实时维护装置光学系统设计 | 第51-52页 |
| 4.1.1 初始光学结构确定 | 第51页 |
| 4.1.2 使用CODE V进行光路设计 | 第51-52页 |
| 4.2 光学系统参数分析 | 第52-56页 |
| 4.3 物镜材料选择以及相关工艺参数 | 第56-57页 |
| 4.3.1 材料选择 | 第56页 |
| 4.3.2 镜片工艺要求 | 第56-57页 |
| 4.4 光路细节问题优化 | 第57-58页 |
| 4.4.1 CCD成像拖影问题 | 第57页 |
| 4.4.2 反射镜设计 | 第57-58页 |
| 4.4.3 软边光阑 | 第58页 |
| 4.5 新型维护装置机械结构设计 | 第58-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 机械结构误差对激光传输质量的影响分析 | 第61-69页 |
| 5.1 评判激光光束质量的方法 | 第61-62页 |
| 5.2 激光光束质量测量方法 | 第62-63页 |
| 5.2.1 CCD检测激光光束质量 | 第62页 |
| 5.2.2 光束质量分析仪检测激光光束质量 | 第62-63页 |
| 5.3 激光光束质量测量原理 | 第63-65页 |
| 5.4 激光光束质量测量 | 第65-67页 |
| 5.4.1 激光光源的选择 | 第65页 |
| 5.4.2 实验操作与结果 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 全文总结 | 第69页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第77页 |