| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 飞秒激光加工装置的研究 | 第9-11页 |
| 1.2.2 气体介质对飞秒激光加工的影响研究 | 第11-13页 |
| 1.2.3 飞秒激光微结构加工研究 | 第13-15页 |
| 1.3 本课题主要研究的内容 | 第15-17页 |
| 第2章 工作台控制软件的二次开发 | 第17-26页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 飞秒激光加工装置 | 第17-19页 |
| 2.3 四轴精密工作台控制软件的二次开发 | 第19-25页 |
| 2.3.1 软件整体模块化设计 | 第20-22页 |
| 2.3.2 各模块功能 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 气体介质对飞秒激光加工 SiC 微结构表面的影响研究 | 第26-44页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 实验方案设计 | 第26-29页 |
| 3.2.1 实验试件的制备 | 第26-27页 |
| 3.2.2 检测手段 | 第27-28页 |
| 3.2.3 实验装置与方法 | 第28-29页 |
| 3.3 气体介质对激光加工 SiC 的影响研究 | 第29-37页 |
| 3.3.1 空气介质中飞秒激光对 SiC 的烧蚀实验研究 | 第29-31页 |
| 3.3.2 气体介质中等离子体对激光光束影响的分析 | 第31-33页 |
| 3.3.3 不同气体介质中飞秒激光对 SiC 的烧蚀实验研究 | 第33-37页 |
| 3.4 SiC 在不同气体介质中的烧蚀阈值研究 | 第37-43页 |
| 3.4.1 烧蚀阈值实验原理 | 第37-38页 |
| 3.4.2 实验结果及分析 | 第38-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 SiC 微结构表面的飞秒激光加工工艺研究 | 第44-68页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 飞秒激光加工质量的影响因素研究 | 第44-55页 |
| 4.2.1 入射激光功率对 SiC 的烧蚀影响 | 第44-47页 |
| 4.2.2 扫描速度对 SiC 的烧蚀影响 | 第47-51页 |
| 4.2.3 气体流速对 SiC 的烧蚀影响 | 第51-55页 |
| 4.3 SiC 的轴对称微结构加工工艺研究 | 第55-62页 |
| 4.3.1 微结构加工实验 | 第55-56页 |
| 4.3.2 微结构加工结果分析 | 第56-62页 |
| 4.3.3 实验结果分析 | 第62页 |
| 4.4 微结构的亚表层损伤研究 | 第62-66页 |
| 4.4.1 样品的制备 | 第62-63页 |
| 4.4.2 离子束抛光法检测 | 第63-66页 |
| 4.4.3 亚表层损伤结果分析 | 第66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
