| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 引言 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 研究目的及意义 | 第11-12页 |
| 1.3 微型ICP 激发源的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 原子发射光谱分析基础知识 | 第15-22页 |
| 2.1 原子发射光谱的产生 | 第15-16页 |
| 2.2 谱线强度的决定因素 | 第16-17页 |
| 2.3 定性及定量分析 | 第17-22页 |
| 2.3.1 定性分析 | 第17-19页 |
| 2.3.2 定量分析 | 第19-22页 |
| 第3章 微型ICP 激发源激发氩气空气及背景谱线分析 | 第22-41页 |
| 3.1 基于PCB 技术的微型ICP 激发源 | 第22-24页 |
| 3.2 氩气和空气激发谱线检测分析 | 第24-37页 |
| 3.2.1 微型ICP 激发源激发氩气和空气 | 第24-26页 |
| 3.2.2 光谱检测仪器 | 第26-30页 |
| 3.2.3 氩气和空气激发谱线检测 | 第30-32页 |
| 3.2.4 氩气和空气激发谱线分析 | 第32-37页 |
| 3.3 氩气空气混合气体激发谱线检测分析 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 微型ICP 激发源工作参数实验 | 第41-53页 |
| 4.1 氩气谱线强度与平面螺旋线圈参数的关系 | 第41-44页 |
| 4.2 氩气谱线强度与RF 功率和气压的关系 | 第44-48页 |
| 4.2.1 氩气谱线强度与RF 功率的关系 | 第45-46页 |
| 4.2.2 氩气谱线强度与气压的关系 | 第46-47页 |
| 4.2.3 实验结论 | 第47-48页 |
| 4.3 氩气电子激发温度与RF 功率和气压的关系 | 第48-52页 |
| 4.3.1 电子激发温度的计算 | 第48-49页 |
| 4.3.2 氩气电子激发温度与RF 功率的关系 | 第49-50页 |
| 4.3.3 氩气电子激发温度与气压的关系 | 第50-52页 |
| 4.3.4 实验结论 | 第52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 激发样品气体及谱线检测分析 | 第53-61页 |
| 5.1 甲烷气体激发谱线检测分析 | 第53-57页 |
| 5.2 丁烷气体激发谱线检测分析 | 第57-59页 |
| 5.3 其他样品气体激发及谱线检测 | 第59-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 结论与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 结论 | 第61-62页 |
| 6.2 有待进一步研究的问题 | 第62页 |
| 6.3 展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第67页 |