| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-16页 |
| 1.1 双成像光刻技术 | 第6-11页 |
| 1.1.1 版图分解 | 第7-9页 |
| 1.1.2 颜色分配 | 第9-10页 |
| 1.1.3 图形合并 | 第10-11页 |
| 1.1.4 掩膜光刻 | 第11页 |
| 1.2 多边形分解算法 | 第11-15页 |
| 1.2.1 使分解后切线总长度最短的多边形分解算法 | 第12页 |
| 1.2.2 使分解后矩形总数最少的多边形分解算法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 单方向多边形切割算法 | 第13-14页 |
| 1.2.4 使分解后薄片总数最少的多边形分解算法 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要贡献 | 第15页 |
| 1.4 本文组织结构 | 第15-16页 |
| 第二章 与现有算法的具体比较 | 第16-22页 |
| 2.1 与单方向切割算法、切线总长度最小的切割算法的比较 | 第16-17页 |
| 2.2 与矩形总数最少的切割算法的比较 | 第17-18页 |
| 2.3 与矩形总数最少的覆盖算法的比较 | 第18-19页 |
| 2.4 与不允许穿透的矩形总数最少的覆盖算法、薄片总最少的切割算法的比较 | 第19-20页 |
| 2.5 与现有算法比较的小结 | 第20-22页 |
| 第三章 算法相关概念定义 | 第22-28页 |
| 3.1 版图中多边形的特点 | 第22-23页 |
| 3.2 当前点、参考边和参考域 | 第23-24页 |
| 3.3 优角形状的情况 | 第24-26页 |
| 3.4 分解距离 | 第26-28页 |
| 第四章 版图分解算法 | 第28-34页 |
| 4.1 当前优角和参考边位置关系的情况 | 第28-31页 |
| 4.2 根据位置情况进行分解 | 第31-32页 |
| 4.3 具体分解所体现的优势 | 第32-33页 |
| 4.4 算法流程 | 第33-34页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第34-42页 |
| 5.1 软硬件环境 | 第34页 |
| 5.2 算法功能验证 | 第34-38页 |
| 5.3 是否引入交叠的比较 | 第38-42页 |
| 第六章 总结与展望 | 第42-43页 |
| 6.1 总结 | 第42页 |
| 6.2 展望 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
