离子掺杂VO2薄膜制备及热致相变性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 VO_2结构与性能 | 第9-10页 |
| 1.3 VO_2的应用 | 第10-12页 |
| 1.4 VO_2薄膜的制备 | 第12-13页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 实验材料及研究方法 | 第14-20页 |
| 2.1 试验试剂及仪器 | 第14-15页 |
| 2.2 实验流程 | 第15-16页 |
| 2.3 实验方法 | 第16-18页 |
| 2.4 测试与表征 | 第18-20页 |
| 第3章 VO_2薄膜的制备及其表征 | 第20-34页 |
| 3.1 溶胶 - 凝胶工艺研究 | 第20-25页 |
| 3.2 热处理工艺的研究 | 第25-29页 |
| 3.3 VO_2薄膜表征分析 | 第29-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 VO_2薄膜掺杂改性研究 | 第34-44页 |
| 4.1 掺杂方法 | 第34-35页 |
| 4.2 掺杂对相变温度影响 | 第35-40页 |
| 4.3 复合掺杂对 VO_2相变温度的影响 | 第40页 |
| 4.4 掺杂对 VO_2微观结构的影响 | 第40-42页 |
| 4.5 掺杂对 VO_2薄膜光学性能的影响 | 第42-43页 |
| 4.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 VO_2多层膜系对光学性能影响研究 | 第44-55页 |
| 5.1 VO_2多层膜系设计机理 | 第44-45页 |
| 5.2 缓冲层 TiO_2薄膜的制备 | 第45-48页 |
| 5.3 增透层SiO_2薄膜的制备 | 第48-50页 |
| 5.4 复合薄膜透光率研究 | 第50-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
