| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第9-22页 |
| 1.1 中国能源现状与太阳能 | 第9-10页 |
| 1.2 太阳能电池分类 | 第10-12页 |
| 1.2.1 晶体硅太阳电池 | 第10页 |
| 1.2.2 碲化镉太阳电池 | 第10-11页 |
| 1.2.3 钙钛矿太阳电池 | 第11页 |
| 1.2.4 铜铟镓硒太阳电池 | 第11-12页 |
| 1.3 柔性CIGS太阳电池研究现状 | 第12-18页 |
| 1.3.1 柔性基底材料的选择 | 第13-14页 |
| 1.3.2 柔性基底CIGS太阳电池制备中的结合力问题 | 第14-15页 |
| 1.3.3 基底粗糙度对柔性CIGS太阳电池的影响 | 第15-16页 |
| 1.3.4 柔性CIGS太阳电池中Na元素的引入 | 第16页 |
| 1.3.5 金属基底中杂质元素扩散的阻挡 | 第16-18页 |
| 1.4 问题的提出 | 第18-20页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 薄膜制备与检测方法 | 第22-28页 |
| 2.1 薄膜制备方法与设备 | 第22-27页 |
| 2.1.1 基底清洗工艺 | 第22-23页 |
| 2.1.2 W-Ti薄膜溅射工艺 | 第23-24页 |
| 2.1.3 热处理加速W-Ti层中Fe元素扩散工艺 | 第24-25页 |
| 2.1.4 柔性CIGS太阳电池制备工艺 | 第25-27页 |
| 2.2 薄膜性能检测方法与仪器 | 第27-28页 |
| 2.2.1 薄膜分析方法与仪器 | 第27页 |
| 2.2.2 电池分析方法与仪器 | 第27-28页 |
| 第3章 磁控溅射钨钛薄膜的工艺与薄膜性能表征 | 第28-39页 |
| 3.1 影响W-Ti薄膜溅射速率的因素 | 第28-30页 |
| 3.1.1 影响溅射速率的主要因素 | 第28-29页 |
| 3.1.2 不同溅射电流下W-Ti薄膜溅射速率的测定 | 第29-30页 |
| 3.2 影响W-Ti薄膜结构的因素 | 第30-33页 |
| 3.2.1 溅射电流对W-Ti薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.2 薄膜厚度对W-Ti薄膜相结构的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.3 溅射工作气压对W-Ti薄膜相结构的影响 | 第32-33页 |
| 3.3 影响W-Ti薄膜晶粒尺寸的因素 | 第33-37页 |
| 3.3.1 溅射工作气压对晶粒尺寸的影响 | 第34页 |
| 3.3.2 溅射电流对晶粒尺寸的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.3 薄膜厚度对晶粒尺寸的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.4 基底表面状态对晶粒尺寸的影响 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 钨钛薄膜阻挡铁元素扩散性能研究 | 第39-60页 |
| 4.1 扩散研究的理论依据与实验设计 | 第39-42页 |
| 4.1.1 扩散研究的理论依据 | 第39-40页 |
| 4.1.2 扩散研究的试验设计 | 第40-42页 |
| 4.2 RBS基本原理 | 第42-45页 |
| 4.2.1 运动学因子 | 第42-43页 |
| 4.2.2 散射截面 | 第43-44页 |
| 4.2.3 能量损失因子 | 第44-45页 |
| 4.3 RBS数据处理 | 第45-51页 |
| 4.3.1 道址谱与能量谱转换 | 第45-47页 |
| 4.3.2 能量谱的分层拟合 | 第47-49页 |
| 4.3.3 元素含量沿深度分布 | 第49-51页 |
| 4.4 扩散系数与扩散激活能的计算 | 第51-54页 |
| 4.4.1 不同温度下扩散系数的计算 | 第51-53页 |
| 4.4.2 扩散常数与扩散激活能的计算 | 第53-54页 |
| 4.5 Fe元素在W-Ti层中的扩散机理分析 | 第54-58页 |
| 4.6 W-Ti阻挡层使用寿命预测 | 第58-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 柔性铜铟镓硒太阳电池制备工艺优化 | 第60-75页 |
| 5.1 Cu-Ga过渡层对CIGS吸收层的影响 | 第60-66页 |
| 5.1.1 Cu-Ga过渡层对CIGS吸收层与Mo背电极结合力的影响 | 第62-63页 |
| 5.1.2 Cu-Ga过渡层对CIGS吸收层微观结构与成分的影响 | 第63-66页 |
| 5.2 H_2Se浓度对柔性CIGS薄膜及电池性能的影响 | 第66-73页 |
| 5.2.1 H_2Se浓度对CIGS薄膜微观结构与晶粒尺寸的影响 | 第67-71页 |
| 5.2.2 H_2Se浓度对不锈钢基底CIGS太阳电池影响 | 第71-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 第6章 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第82页 |
