| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 缓蚀剂概述 | 第10-14页 |
| 1.2.1 缓蚀剂定义 | 第10页 |
| 1.2.2 缓蚀剂的分类 | 第10页 |
| 1.2.3 缓蚀剂的研究方法 | 第10-14页 |
| 1.2.3.1 理论研究 | 第10-12页 |
| 1.2.3.2 实验室评价 | 第12-14页 |
| 1.3 非单一咪唑环类缓蚀剂的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.4 问题的提出 | 第16页 |
| 1.5 研究内容及创新点 | 第16-18页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第16-17页 |
| 1.5.2 创新点 | 第17-18页 |
| 第2章 对称双咪唑啉及其苄基季铵盐类缓蚀剂的合成及结构表征 | 第18-27页 |
| 2.1 实验仪器及药品 | 第18-19页 |
| 2.1.1 实验仪器 | 第18页 |
| 2.1.2 实验药品 | 第18-19页 |
| 2.2 不同疏水链长对称双咪唑啉及其苄基季铵盐的合成 | 第19-22页 |
| 2.2.1 合成条件的确定 | 第19-20页 |
| 2.2.2 合成步骤 | 第20-22页 |
| 2.3 结构表征 | 第22-25页 |
| 2.3.1 红外表征 | 第22-24页 |
| 2.3.2 核磁共振氢谱表征 | 第24-25页 |
| 2.4 溶解性测试 | 第25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 不同疏水链长对称双咪唑啉及其苄基季铵盐的缓蚀性能研究 | 第27-47页 |
| 3.1 实验药品及仪器 | 第27页 |
| 3.1.1 实验药品 | 第27页 |
| 3.1.2 实验仪器 | 第27页 |
| 3.2 失重法 | 第27-29页 |
| 3.3 电化学方法 | 第29页 |
| 3.4 表面形貌观察 | 第29-30页 |
| 3.5 吸附热力学研究 | 第30页 |
| 3.6 实验结果 | 第30-46页 |
| 3.6.1 失重法测试结果 | 第30-33页 |
| 3.6.2 电化学测试结果 | 第33-41页 |
| 3.6.2.1 交流阻抗测试结果 | 第33-37页 |
| 3.6.2.2 动电位扫描极化曲线测试结果 | 第37-41页 |
| 3.6.3 表面形貌观察 | 第41-43页 |
| 3.6.4 吸附热力学研究结果 | 第43-46页 |
| 3.6.4.1 正辛酸对称双咪唑啉及其苄基季铵盐缓蚀剂 | 第43-44页 |
| 3.6.4.2 正葵酸对称双咪唑啉及其苄基季铵盐缓蚀剂 | 第44页 |
| 3.6.4.3 正十二烷酸对称双咪唑啉及其苄基季铵盐缓蚀剂 | 第44-45页 |
| 3.6.4.4 正十四烷酸对称双咪唑啉及其苄基季铵盐缓蚀剂 | 第45-46页 |
| 3.7 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 对称双咪唑啉及其苄基季铵盐类缓蚀剂的反应活性 | 第47-55页 |
| 4.1 理论计算方法 | 第47-48页 |
| 4.2 量子化学参数 | 第48-49页 |
| 4.2.1 前线分子轨道理论 | 第48页 |
| 4.2.2 全局反应活性 | 第48-49页 |
| 4.3 对称双咪唑啉及其苄基季铵盐的反应活性 | 第49-54页 |
| 4.3.1 不同疏水链长对称双咪唑啉的前线轨道及全局活性 | 第50-52页 |
| 4.3.2 不同疏水链长对称双咪唑啉双苄基季铵盐的前线轨道及全局活性 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 不同疏水链长对称双咪唑啉及其苄基季铵盐缓蚀剂的性能测试总结与讨论 | 第55-58页 |
| 5.1 实验结果总结 | 第55-57页 |
| 5.1.1 不同疏水链长对对称双咪唑啉类缓蚀剂缓蚀性能影响 | 第55-56页 |
| 5.1.2 氯化苄季铵化后对对称双咪唑啉类缓蚀剂缓蚀性能影响 | 第56页 |
| 5.1.3 吸附行为研究结果 | 第56-57页 |
| 5.2 讨论 | 第57-58页 |
| 第6章 结论与建议 | 第58-60页 |
| 6.1 结论 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第67页 |
| 发表的学术论文 | 第67页 |
| 参与的科研项目 | 第67页 |
