高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第8-15页
1.1 课题研究背景	第8-9页
1.2 欧姆接触研究概况	第9-13页
1.3 硕士期间的主要工作	第13-15页
2 欧姆接触的能带理论与测试方法	第15-26页
2.1 金硅欧姆接触的能带理论	第15-17页
2.2 金硅欧姆接触的电阻率的理论计算	第17-20页
2.3 欧姆接触的接触电阻率的测试方法	第20-25页
2.4 本章小结	第25-26页
3 金锑欧姆接触的工艺过程	第26-47页
3.1 金锑欧姆接触的合金过程	第26-29页
3.2 金锑欧姆接触的工艺过程	第29-32页
3.3 金锑欧姆接触制备的工艺效果评价	第32-46页
3.4 本章小结	第46-47页
4 金锑欧姆接触的工艺条件测试	第47-63页
4.1 时间等对金锑欧姆接触的影响	第47-52页
4.2 温度对金锑欧姆接触的影响	第52-55页
4.3 环形传输线模型的结果验证	第55-56页
4.4 金锑欧姆接触的稳定性测量	第56-62页
4.5 本章小结	第62-63页
5 总结与展望	第63-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-71页
附录1 硕士期间完成的论文	第71-72页
附录2 硅的基本参数与某组实际退火曲线	第72页