| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 注释表 | 第15-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-34页 |
| 1.1 微纳制造技术 | 第16页 |
| 1.2 微纳制造技术的研究与发展 | 第16-25页 |
| 1.2.1 LIGA与准LIGA技术 | 第17-18页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工技术 | 第18-19页 |
| 1.2.3 聚焦离子铣削技术 | 第19-21页 |
| 1.2.4 纳米压印技术 | 第21-22页 |
| 1.2.5 扫描探针加工技术 | 第22-25页 |
| 1.2.6 自组装加工技术 | 第25页 |
| 1.3 微纳电解加工技术的研究与发展 | 第25-32页 |
| 1.3.1 超短脉冲电解加工技术 | 第26-30页 |
| 1.3.2 扫描探针电解加工技术 | 第30-32页 |
| 1.4 课题的来源与研究意义 | 第32页 |
| 1.5 本文研究的主要内容 | 第32-34页 |
| 第二章 微纳电解加工理论 | 第34-45页 |
| 2.1 电解加工技术的基本原理 | 第34-35页 |
| 2.2 微纳电解加工特点 | 第35-36页 |
| 2.3 微纳电解加工机理 | 第36-44页 |
| 2.3.1 电极反应过程 | 第36页 |
| 2.3.2 电化学反应过程 | 第36-38页 |
| 2.3.3 电极/溶液界面 | 第38-40页 |
| 2.3.4 微纳电解加工机理 | 第40-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 微纳电解加工系统 | 第45-63页 |
| 3.1 微纳电解加工系统总组成 | 第45-47页 |
| 3.1.1 微纳电解加工对加工系统的要求 | 第45-46页 |
| 3.1.2 微纳电解加工系统总体设计 | 第46-47页 |
| 3.2 运动子系统 | 第47-48页 |
| 3.3 控制子系统 | 第48-49页 |
| 3.4 电极子系统 | 第49-51页 |
| 3.5 电解液子系统 | 第51页 |
| 3.6 电源子系统 | 第51页 |
| 3.7 加工监测子系统 | 第51-53页 |
| 3.8 对刀子系统 | 第53-62页 |
| 3.8.1 微米级工具阴极的对刀 | 第53页 |
| 3.8.2 亚微米级工具阴极的对刀 | 第53-62页 |
| 3.8.2.1 对刀原理 | 第55-57页 |
| 3.8.2.2 对刀过程 | 第57-62页 |
| 3.10 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 基于银纳米线电极的微纳电解加工研究 | 第63-77页 |
| 4.1 银纳米线 | 第63页 |
| 4.2 银纳米线电极的制备 | 第63-64页 |
| 4.3 银纳米线电极用于微纳电解加工存在的问题 | 第64-70页 |
| 4.4 溅射处理研究 | 第70-73页 |
| 4.5 基于银纳米线电极的微纳电解加工试验 | 第73-75页 |
| 4.6 本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 微纳电解加工工具阴极的制备及电解加工研究 | 第77-105页 |
| 5.1 浸没刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极 | 第77-86页 |
| 5.1.1 浸没刻蚀法制备工具阴极原理 | 第77-79页 |
| 5.1.2 浸没刻蚀法制备工具阴极试验 | 第79-86页 |
| 5.1.2.1 加工电压对工具阴极制备的影响 | 第79-81页 |
| 5.1.2.2 电极浸没电解液深度对工具阴极制备的影响 | 第81-82页 |
| 5.1.2.3 电解液浓度对工具阴极制备的影响 | 第82-84页 |
| 5.1.2.4 电源断开时间对工具阴极制备的影响 | 第84-86页 |
| 5.1.3 浸没刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极实例 | 第86页 |
| 5.2 浸没刻蚀法制备的工具阴极的微纳电解加工试验 | 第86-87页 |
| 5.3 液膜刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极 | 第87-95页 |
| 5.3.1 液膜刻蚀法制备微纳电解加工加工电极装置 | 第87-88页 |
| 5.3.2 液膜刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极原理及过程 | 第88-89页 |
| 5.3.3 液膜刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极的理论建模 | 第89-95页 |
| 5.4 液膜刻蚀法制备微纳电解加工工具阴极试验研究 | 第95-102页 |
| 5.4.1 初始钨棒半径对工具阴极尖端尺寸的影响 | 第97-98页 |
| 5.4.2 下端电极长度对工具阴极尖端尺寸的影响 | 第98-99页 |
| 5.4.3 液膜厚度对工具阴极尖端尺寸的影响 | 第99-100页 |
| 5.4.4 加工电压及电解液浓度对工具阴极尖端尺寸的影响 | 第100-102页 |
| 5.5 液膜刻蚀法制备的工具阴极的微纳电解加工试验 | 第102-104页 |
| 5.6 本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 结论与展望 | 第105-107页 |
| 6.1 论文研究工作总结 | 第105-106页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第106页 |
| 6.3 对未来研究工作的展望 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第119页 |
