固体氧化物燃料电池连接板保护膜扩散研究与优化设计
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外 SOFC 连接板膜层材料研究现状 | 第12-20页 |
| 1.2.1 陶瓷连接板 | 第12-13页 |
| 1.2.2 金属连接板 | 第13-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验方法 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 膜层制备原理与材料 | 第22-25页 |
| 2.2.1 制备原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 实验材料 | 第23-24页 |
| 2.2.3 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.3 性能测试表征方法 | 第25-30页 |
| 2.3.1 膜层形貌以及成分的确定 | 第25页 |
| 2.3.2 膜层厚度的测量 | 第25-26页 |
| 2.3.3 晶粒分布以及大小的确定 | 第26-27页 |
| 2.3.4 膜层物相分析 | 第27页 |
| 2.3.5 膜层 ASR 测试 | 第27-30页 |
| 第3章 膜层的制备 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 基板表面预处理 | 第30页 |
| 3.3 参数调试与优化 | 第30-33页 |
| 3.3.1 本底真空度 | 第30页 |
| 3.3.2 腔体加热烘烤 | 第30-31页 |
| 3.3.3 靶材温度 | 第31页 |
| 3.3.4 基板加热温度 | 第31页 |
| 3.3.5 靶基距 | 第31-32页 |
| 3.3.6 溅射气压 | 第32页 |
| 3.3.7 直流溅射功率 | 第32-33页 |
| 3.3.8 基板负偏压 | 第33页 |
| 3.4 工艺优化 | 第33-36页 |
| 3.4.1 辉光清洗 | 第33页 |
| 3.4.2 靶材预溅射 | 第33-34页 |
| 3.4.3 多膜层处理 | 第34页 |
| 3.4.4 基板偏压的变化 | 第34页 |
| 3.4.5 单面镀膜与双面镀膜 | 第34-36页 |
| 3.5 沉积速率 | 第36-38页 |
| 3.6 后续氧化处理 | 第38-39页 |
| 3.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 膜层性能测试与分析 | 第40-62页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 表面形貌 | 第40-47页 |
| 4.2.1 成分对膜层的影响 | 第40-42页 |
| 4.2.2 厚度对膜层的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.3 成分、厚度以及氧化时间对膜层的影响 | 第44-47页 |
| 4.3 膜层表面元素分布 | 第47-50页 |
| 4.3.1 MnCo 比例变化 | 第48-49页 |
| 4.3.2 Cr 含量变化 | 第49-50页 |
| 4.4 物相分析 | 第50-56页 |
| 4.4.1 理论相图推理 | 第50-53页 |
| 4.4.2 XRD 结果分析 | 第53-56页 |
| 4.5 横截面形貌及元素分布 | 第56-61页 |
| 4.5.1 膜层横截面形貌 | 第56-58页 |
| 4.5.2 横截面元素分布 | 第58-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 元素扩散研究与膜层优化设计 | 第62-68页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 元素扩散规律 | 第62页 |
| 5.3 氧化层生长规律 | 第62-63页 |
| 5.4 膜层质量分析 | 第63-65页 |
| 5.5 优化设计与 ASR 测试 | 第65-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
