喷墨打印头聚合物腔室的设计与制作
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 喷墨打印头研究进展 | 第8-11页 |
| 1.1.1 国外喷墨打印头研究进展 | 第8-10页 |
| 1.1.2 国内喷墨打印头研究进展 | 第10-11页 |
| 1.2 论文研究依据与意义 | 第11-12页 |
| 1.3 喷墨打印头腔室制造工艺综述 | 第12-17页 |
| 1.3.1 湿法腐蚀硅技术 | 第12-13页 |
| 1.3.2 微电铸 | 第13-14页 |
| 1.3.3 牺牲层技术 | 第14页 |
| 1.3.4 微注塑 | 第14-15页 |
| 1.3.5 激光加工 | 第15-16页 |
| 1.3.6 热键合 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第17-18页 |
| 2 喷墨打印头腔室结构设计 | 第18-27页 |
| 2.1 腔室材料选择 | 第18-19页 |
| 2.2 压电理论 | 第19-20页 |
| 2.3 流体理论 | 第20-21页 |
| 2.3.1 流态判定 | 第20页 |
| 2.3.2 流动方程 | 第20-21页 |
| 2.4 腔室设计 | 第21-26页 |
| 2.4.1 压电喷墨打印头数值模拟 | 第22-23页 |
| 2.4.2 压力腔室结构优化 | 第23-24页 |
| 2.4.3 喷孔板厚度优化 | 第24-25页 |
| 2.4.4 喷孔形状优化 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 聚合物腔室制作工艺和理论 | 第27-37页 |
| 3.1 腔室层制作工艺的选择 | 第27-28页 |
| 3.2 SU-8 光刻胶交联机理 | 第28-29页 |
| 3.3 光刻工艺中的衍射分析 | 第29-31页 |
| 3.3.1 邻近式曝光分析 | 第30页 |
| 3.3.2 菲涅尔直边衍射 | 第30-31页 |
| 3.4 SU-8 聚合物力学性能 | 第31-33页 |
| 3.4.1 聚合物温度依赖性 | 第31-32页 |
| 3.4.2 聚合物时间依赖性 | 第32-33页 |
| 3.5 SU-8 聚合物粘结机理 | 第33-34页 |
| 3.6 腔室键合质量评价指标 | 第34-36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 腔室层工艺参数优化 | 第37-57页 |
| 4.1 喷孔板基底材料的选择 | 第37-38页 |
| 4.2 SU-8 光刻胶喷孔板光刻参数与性能分析 | 第38-46页 |
| 4.2.1 喷孔板SU-8 光刻参数优化 | 第39-43页 |
| 4.2.2 SU-8 光刻胶交联状态分析 | 第43-46页 |
| 4.3 键合工艺参数优化 | 第46-47页 |
| 4.4 键合表面处理 | 第47-48页 |
| 4.5 聚合物压电喷墨打印头腔室制作流程 | 第48-51页 |
| 4.6 实验分析 | 第51-55页 |
| 4.6.1 键合对准装置 | 第51-53页 |
| 4.6.2 喷孔与腔室错位矫正 | 第53-54页 |
| 4.6.3 锥形喷孔制作 | 第54-55页 |
| 4.7 本章小结 | 第55-57页 |
| 5 聚合物腔室测试 | 第57-61页 |
| 5.1 键合强度测试 | 第57-58页 |
| 5.2 喷墨测试 | 第58-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录A 压力腔室正交试验表 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
