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激光化学气相沉积法制备钇系高温超导薄膜及其缓冲层薄膜

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 文献综述第12-30页
    1.1 超导材料发展历史第12-14页
    1.2 研究超导材料的现实意义第14-18页
        1.2.1 超导材料对经济、社会及环境的意义第14-15页
        1.2.2 超导材料对能源、交通、医疗等相关领域的意义第15-17页
        1.2.3 超导材料对新型陶瓷产业发展的意义第17页
        1.2.4 超导材料对多学科交叉融合的意义第17-18页
    1.3 超导带材的结构与制备第18-21页
        1.3.1 金属基板第18-19页
        1.3.2 种子层第19页
        1.3.3 缓冲层第19-20页
        1.3.4 超导层第20-21页
        1.3.5 保护层第21页
    1.4 YBCO超导层的结构、制备与研究现状第21-26页
        1.4.1 YBCO超导层的结构第21-22页
        1.4.2 YBCO超导层的制备第22-25页
            1.4.2.1 三氟乙酸-金属有机沉积法第23页
            1.4.2.2 脉冲激光沉积法第23-24页
            1.4.2.3 金属有机化学气相沉积法第24页
            1.4.2.4 激光化学气相沉积法第24-25页
        1.4.3 YBCO高温超导带材的研究现状第25-26页
    1.5 本论文的研究意义及内容第26-30页
        1.5.1 研究意义第26-27页
        1.5.2 研究内容第27-30页
第二章 实验方法与表征第30-44页
    2.1 超导层与缓冲层的制备第30-39页
        2.1.1 实验设备第30-31页
        2.1.2 前驱体的制备第31-35页
            2.1.2.1 HDPM的制备第31-32页
            2.1.2.2 Y(DPM)_3 的制备第32-33页
            2.1.2.3 Ba(DPM)_2 的制备第33页
            2.1.2.4 Cu(DPM)_2 的制备第33-34页
            2.1.2.5 Ce(DPM)_4 的制备第34-35页
        2.1.3 YBCO前驱体溶液的合成第35页
        2.1.4 SAC-LCVD设备第35-39页
            2.1.4.1 喷液雾化多元共析液体原料供应系统第35-37页
            2.1.4.2 智能控制系统第37页
            2.1.4.3 SAC-LCVD设备优点第37-39页
            2.1.4.4 SAC-LCVD设备参数第39页
    2.2 YBCO薄膜的分析表征方法第39-44页
        2.2.1 X射线衍射分析第40-41页
        2.2.2 X射线衍射极图第41-42页
        2.2.3 电子场发射扫描电镜第42页
        2.2.4 YBCO薄膜电学性能的测量第42-44页
第三章 激光功率对制备YBCO薄膜的研究第44-54页
    3.1 制备YBCO薄膜的工艺参数第44-45页
    3.2 激光功率对YBCO薄膜晶相结构研究第45-46页
    3.3 激光功率对YBCO薄膜结晶度与面内取向研究第46-47页
    3.4 激光功率对YBCO薄膜晶粒面内外延生长模式研究第47-49页
    3.5 激光功率对YBCO薄膜显微结构研究第49-50页
    3.6 激光功率对YBCO薄膜电学性能研究第50-53页
    3.7 小结第53-54页
第四章 外延生长不同取向YBCO薄膜的研究第54-64页
    4.1 制备不同取向YBCO薄膜的工艺参数第54页
    4.2 YBCO薄膜晶相结构研究第54-56页
    4.3 YBCO薄膜晶粒的面内外延生长关系研究第56-61页
    4.4 小结第61-64页
第五章 制备高度(100)取向CeO_2薄膜的研究第64-72页
    5.1 制备CeO_2缓冲层的工艺参数第64-65页
    5.2 CeO_2薄膜晶相结构研究第65-67页
    5.3 CeO_2薄膜结晶度及面内取向度研究第67-68页
    5.4 CeO_2薄膜面内外延生长关系研究第68-69页
    5.5 CeO_2薄膜的显微结构研究第69-70页
    5.6 小结第70-72页
第六章 结论与展望第72-74页
    6.1 结论第72-73页
    6.2 展望第73-74页
参考文献第74-84页
攻读硕士期间发表的论文与专利第84-86页
致谢第86页

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