微电铸铸层内应力的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 沉积层内应力的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2 内应力去除方法的研究进展 | 第13-14页 |
| 1.3 超声电沉积研究进展 | 第14-17页 |
| 1.4 课题的提出、目的及意义 | 第17页 |
| 1.5 论文的研究思路及内容 | 第17-19页 |
| 1.5.1 论文研究思路 | 第17-18页 |
| 1.5.2 论文研究内容 | 第18-19页 |
| 2 微电铸铸层内应力的测量原理及方法 | 第19-29页 |
| 2.1 微电铸铸层内应力测量方法选择 | 第19-21页 |
| 2.2 XRD测量内应力原理 | 第21-22页 |
| 2.3 XRD应力测量的基本思路和步骤 | 第22-26页 |
| 2.3.1 实验装置 | 第22-24页 |
| 2.3.2 测量扫描模式选择 | 第24-25页 |
| 2.3.3 测量位置点的设定 | 第25页 |
| 2.3.4 测量过程和结果处理 | 第25-26页 |
| 2.4 衍射峰宽化分析与讨论 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 铸层压应力影响因素及产生机理 | 第29-45页 |
| 3.1 实验仪器与方法 | 第29-33页 |
| 3.1.1 实验仪器 | 第29-30页 |
| 3.1.2 微电铸工艺流程 | 第30-33页 |
| 3.2 微电铸实验结果 | 第33-34页 |
| 3.3 铸层压应力的形成机制分析 | 第34-39页 |
| 3.3.1 有机物的吸附动力学 | 第34-36页 |
| 3.3.2 表面活性剂分子在沉积表面上的吸附形式 | 第36-39页 |
| 3.4 电流密度对铸层内应力的影响机理分析 | 第39-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 超声微电铸对铸层内应力的影响及机理分析 | 第45-56页 |
| 4.1 超声空化 | 第45-47页 |
| 4.1.1 超声空化阀值 | 第45页 |
| 4.1.2 空化泡的崩溃时间 | 第45-46页 |
| 4.1.3 声场中空化泡壁的运动 | 第46-47页 |
| 4.2 超声微电铸实验过程 | 第47-49页 |
| 4.3 超声微电铸实验结果分析 | 第49-55页 |
| 4.3.1 超声微电铸减小压应力机理 | 第49-54页 |
| 4.3.2 超声功率对铸层内应力的影响 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
