| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 脉冲等离子体的研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 容性耦合放电 | 第11-16页 |
| 1.2.1 容性耦合放电的基本原理 | 第11-13页 |
| 1.2.2 双频容性耦合等离子体的基本特性 | 第13-14页 |
| 1.2.3 容性耦合放电的数值模拟方法 | 第14-16页 |
| 1.3 脉冲偏压调控离子输运的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 本文研究内容和结构安排 | 第17-18页 |
| 2 容性放电脉冲偏压驱动下的等离子体碰撞鞘层理论模型和数值方法 | 第18-27页 |
| 2.1 流体力学模型 | 第18-22页 |
| 2.2 蒙特卡洛碰撞模型 | 第22-24页 |
| 2.3 数值方法 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 容性放电脉冲偏压下鞘层特性的数值模拟 | 第27-33页 |
| 3.1 鞘层内电势的分布 | 第27-28页 |
| 3.2 鞘层内离子密度与速度的分布 | 第28-30页 |
| 3.3 鞘层内电子密度的分布 | 第30-31页 |
| 3.4 离子的能量分布和角度分布 | 第31-32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 矩形波形的脉冲偏压对离子输运调控的数值模拟 | 第33-42页 |
| 4.1 脉冲占空比的影响 | 第33-35页 |
| 4.2 电压幅值的影响 | 第35-36页 |
| 4.3 气压的影响 | 第36-38页 |
| 4.4 充电效应 | 第38-41页 |
| 4.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 定制波形的脉冲偏压对离子输运调控的数值模拟 | 第42-51页 |
| 5.1 定制波形的脉冲偏压对充电效应的改善作用 | 第42-46页 |
| 5.2 定制波形的脉冲偏压对离子能量分布的调制结果 | 第46-50页 |
| 5.2.1 幅值调节 | 第46-48页 |
| 5.2.2 比重调节 | 第48-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 6 结论与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 本文主要结论 | 第51-52页 |
| 6.2 对未来工作的展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |