| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 三维形貌测量技术国内外发展现状 | 第9-22页 |
| 1.2.1 接触式测量方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 光学非接触测量方法 | 第12-21页 |
| 1.2.3 三维形貌测量方法比较 | 第21-22页 |
| 1.3 用于微小零件的形貌测量技术 | 第22-24页 |
| 1.3.1 条纹投影三维形貌测量 | 第22-23页 |
| 1.3.2 光学相控技术 | 第23-24页 |
| 1.4 研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 平行光束干涉投影形貌测量系统 | 第26-42页 |
| 2.1 条纹投射系统 | 第26-27页 |
| 2.2 干涉条纹投影测量系统原理 | 第27-34页 |
| 2.2.1 测量系统 | 第27-29页 |
| 2.2.2 数学建模 | 第29-34页 |
| 2.3 相位测量轮廓术概述 | 第34-41页 |
| 2.3.1 傅里叶变换轮廓术的基本原理 | 第34-36页 |
| 2.3.2 相移轮廓术 | 第36-38页 |
| 2.3.3 实时傅里叶变换相位轮廓术中快速相位解包裹技术 | 第38-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 波前相位调制模型 | 第42-56页 |
| 3.1 光学相控阵的基本原理 | 第42-46页 |
| 3.2 波前相位调制原理 | 第46-49页 |
| 3.3 仿真与分析 | 第49-55页 |
| 3.3.1 光束角度偏转 | 第49-51页 |
| 3.3.2 波前相位调制 | 第51-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 光束指向精度对移相精度的影响 | 第56-65页 |
| 4.1 两束平行光的干涉 | 第56-59页 |
| 4.2 相移系统 | 第59-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 实验 | 第65-70页 |
| 5.1 搭建平行光束干涉投影形貌测量实验平台 | 第65-66页 |
| 5.2 条纹图像滤波处理 | 第66-67页 |
| 5.3 傅里叶变换法求解条纹相位 | 第67-68页 |
| 5.4 相位解包裹 | 第68-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 导师简介 | 第77页 |
| 企业导师简介 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78-79页 |
| 学位论文数据集 | 第79页 |