| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3 本课题主要研究对象和内容 | 第13-14页 |
| 2 相移干涉原理及理论模型 | 第14-33页 |
| 2.1 干涉测量方法 | 第14-18页 |
| 2.2 像差与Zernike多项式 | 第18-21页 |
| 2.3 相移法理论模型 | 第21-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 误差源分析及相移误差模拟 | 第33-52页 |
| 3.1 误差源分析 | 第33-36页 |
| 3.2 相移误差的特性 | 第36-46页 |
| 3.3 振荡曲线的来源 | 第46-50页 |
| 3.4 相移误差的处理 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 实验方案的论证及结果分析 | 第52-79页 |
| 4.1 泰曼格林干涉仪 | 第52-53页 |
| 4.2 实验平台搭建 | 第53-54页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第54-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 5 总结与展望 | 第79-81页 |
| 5.1 总结 | 第79-80页 |
| 5.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |